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기존 그래핀 제조 시 발생하던 폴딩 결함은 그래핀의 성능을 저하시키는 주요 문제였습니다. 본 발명은 이러한 문제점을 해결하여, 폴딩 결함이 없는 고품질 대면적 단층 단결정 그래핀을 제조하는 혁신적인 방법을 제시합니다. 특정 성장 온도 조건(Tgrowth < Tstep)에서 단결정 금속 포일에 탄소 소스를 공급함으로써, 폴딩 결함의 근본 원인인 스텝 번칭 발생을 원천적으로 방지합니다. 이 기술은 에드레이어 없는 우수한 결정성의 그래핀을 제공하며, 높은 전자 및 정공 이동도를 보장합니다. 또한, 사용된 금속 포일의 재활용이 가능하여 경제적이고 효율적인 그래핀 생산이 가능합니다. 이로써 그래핀을 활용하는 다양한 전자 소자 및 적층체의 성능을 극대화할 수 있습니다.
| 기술 분야 | 그래핀 CVD 합성 기술 |
| 판매 유형 | 자체 판매 |
| 판매 상태 | 판매 중 |
| 기술명 | |
| 폴딩 결함으로부터 자유로운 그래핀 및 이의 제조방법 | |
| 기관명 | |
| 기초과학연구원, 울산과학기술원 | |
| 대표 연구자 | 공동연구자 |
| Rodney S. Ruoff | - |
| 출원번호 | 등록번호 |
| 1020220090099 | 1027296530000 |
| 권리구분 | 출원일 |
| 특허 | 2022.07.21 |
| 중요 키워드 | |
단층 단결정전자소자CVD 그래핀고품질 그래핀그래핀재료 과학 | |
화학기상증착법(CVD)은 대면적의 고품질 그래핀을 합성할 수 있는 가장 유망한 방법으로 알려져 있습니다.
하지만 CVD로 합성된 그래핀 필름에는 결정립계, 에드레이어(adlayers) 및 폴딩(folding)과 같은 결함이 존재하여 그래핀의 우수한 특성을 저하시킵니다.
기존 연구는 주로 결정립계와 에드레이어 제거에 집중되어 왔습니다.
특히 그래핀이 3층으로 접히는 결함인 폴딩의 형성 메커니즘에 대한 이해가 부족했으며, 이를 제어하는 기술이 부재한 실정이었습니다.
그래핀의 고유한 전기적, 기계적 특성을 최대한 활용하기 위해서는 결함이 없는 완벽한 구조의 그래핀이 필수적입니다.
폴딩 결함의 발생 원인을 근본적으로 이해하고, 이를 원천적으로 방지할 수 있는 새로운 제조 방법의 개발이 시급했습니다.
폴딩 결함으로부터 자유로운 대면적, 고품질 단층 단결정 그래핀은 차세대 전자 소자 및 다양한 산업 분야의 혁신을 이끌 핵심 소재입니다.
본 기술의 핵심 원리는 그래핀 성장 온도(Tgrowth)를 촉매로 사용되는 금속 포일의 스텝 번칭(step bunching) 발생 온도(Tstep) 미만으로 제어하는 것입니다.
그래핀 폴딩 결함은 성장 후 냉각 과정에서 그래핀과 금속 포일의 열팽창 계수 차이로 인한 압축 응력이 '스텝 번칭' 현상을 통해 방출되면서 발생합니다.
따라서 그래핀 성장 단계부터 스텝 번칭이 일어나지 않는 온도 조건(Tgrowth < Tstep)을 만족시켜 폴딩 결함의 근본적인 원인을 제거합니다.
단결정 금속 포일 준비: (111) 표면을 갖는 Cu-Ni 합금 등 단결정 금속 포일을 촉매 기판으로 준비합니다.
그래핀 성장: CVD 챔버 내에서 Tgrowth < Tstep 조건을 만족하는 특정 온도(예: Cu-Ni 합금의 경우 1000K ~ 1030K)를 유지하며, 에틸렌(C2H4)과 같은 기상의 탄소 소스를 공급하여 그래핀을 성장시킵니다.
냉각 및 박리: 성장이 완료된 후 상온으로 냉각하고, 전기화학적 박리 방법 등을 이용해 금속 포일로부터 그래핀 필름을 분리합니다.
촉매 재사용: 그래핀이 박리된 단결정 금속 포일은 손상이나 조성 변화가 거의 없어, 세척 후 그래핀 성장 공정에 반복적으로 재사용할 수 있습니다.

완벽한 품질 구현: 폴딩 결함이 없는(Fold-free) 단층·단결정 그래핀을 제조할 수 있습니다.
대면적화 가능: 25cm² 이상의 대면적 그래핀 필름을 동일한 품질로 제조할 수 있어 스케일업이 용이합니다.
우수한 결정성: 라만 스펙트럼 분석 결과, 결함 정도를 나타내는 D/G 밴드 비율(ID/IG)이 0.1 이하로, 결함이 거의 없는 완벽한 결정 구조를 가집니다.
높은 전하 이동도: 정공 이동도 7.0 x 10³ cm²/V·s 이상, 전자 이동도 6.5 x 10³ cm²/V·s 이상의 뛰어난 전기적 특성을 보입니다.
경제성 및 친환경성: 그래핀 성장 촉매로 사용된 단결정 금속 포일의 손실 없이 5회 이상 재사용이 가능하여 제조 비용을 절감하고 공정의 지속가능성을 높입니다.
본 실험의 목적은 그래핀 성장 온도가 폴딩 결함 발생에 미치는 영향을 규명하고, 폴딩 결함이 없는 고품질 그래핀을 제조할 수 있는 최적의 온도 조건을 찾는 것이었습니다. 이를 통해 스텝 번칭 발생 온도(Tstep)와 폴딩 형성 온도의 상관관계를 실험적으로 입증하고자 했습니다.
20at% Ni를 함유하는 Cu-Ni(111) 단결정 금속 포일을 사용하여 다양한 온도(1320K, 1170K, 1040K, 1030K, 1000K, 990K)에서 그래핀을 성장시켰습니다.
주사전자현미경(SEM)과 원자간력현미경(AFM)을 사용하여 성장된 그래핀 필름의 표면 형상과 폴딩 결함 유무를 관찰했습니다.
라만 분광법을 통해 각 온도에서 제조된 그래핀의 결정성과 결함 정도(ID/IG 비율)를 분석했습니다.
그래핀 성장 후 금속 포일 표면의 스텝 번칭 현상을 AFM으로 측정하여 폴딩 발생과의 연관성을 확인했습니다.
성장 온도 (K) | 폴딩(Folding) 결함 발생 여부 | 라만 스펙트럼 (ID/IG 비율) | 결과 요약 |
|---|---|---|---|
1320K | 발생 | 명시되지 않음 | 고온 성장 시 폴딩 결함 발생 |
1170K | 발생 | 명시되지 않음 | 성장 온도를 낮춰도 폴딩 발생 |
1040K | 발생 | < 0.1 | 스텝 번칭 온도(Tstep) 이상으로 폴딩 발생 |
1030K | 발생 안함 | ~0 (무시할 수준) | 폴딩 결함 없는 고품질 그래핀 제조 성공 |
1000K | 발생 안함 | ~0 (무시할 수준) | 폴딩 결함 없는 고품질 그래핀 제조 성공 |
990K | 발생 안함 | 약 0.5 | 품질 저하로 다수의 결함 포함 |
실험 결과, 그래핀이 성장한 Cu-Ni(111) 표면의 스텝 번칭이 발생하는 임계 온도(Tstep)가 1040K와 1030K 사이에 존재함을 확인했습니다. 이 온도 이상에서 성장한 그래핀에서는 폴딩 결함이 관찰되었으나, 그 이하의 온도(1030K, 1000K)에서는 폴딩 결함이 전혀 발생하지 않았습니다. 이는 폴딩 결함이 스텝 번칭 현상과 직접적으로 연관되어 있으며, 성장 온도를 Tstep 미만으로 제어함으로써 폴딩 결함을 원천적으로 방지할 수 있음을 명확히 보여줍니다. 단, 온도를 너무 낮출 경우(990K) 그래핀 자체의 품질이 저하되는 문제가 발생하여, 최적의 성장 온도 범위가 중요함을 시사합니다.
분야 | 주요 응용 제품 및 기술 |
|---|---|
전자 및 통신 | 투명전극, 광검출소자, 반도체, 센서, 유연 전자제품 |
에너지 | 그래핀 배터리(전기차, 휴대용 기기), 슈퍼커패시터, 에너지 저장 및 수확 |
항공우주 및 국방 | 경량 고강도 복합재료, 배리어 코팅 |
바이오-의료 및 헬스케어 | 고감도 바이오센서, 휴대용 의료 기기 |
자동차 및 건설 | 고성능 그래핀 강화 복합재 |
차세대 반도체 및 디스플레이 개발: 월등한 전하 이동도와 결함 없는 구조를 바탕으로 기존 실리콘의 한계를 뛰어넘는 초고속, 저전력 반도체 소자 및 유연 디스플레이의 핵심 소재로 활용될 수 있습니다.
고성능 전자소자 상용화: 폴딩 결함으로 인한 전기적 특성의 비균일성 문제를 해결하여, 그래핀 채널의 방향에 관계없이 일관된 고성능을 보장하는 전자소자의 대량 생산 및 상용화를 앞당길 수 있습니다.
그래핀 소재 산업 생태계 활성화: 대면적의 고품질 그래핀을 안정적으로 생산 및 공급할 수 있는 기반을 마련하여, 다양한 응용 분야의 연구 개발과 산업화를 촉진하고 관련 산업 생태계를 활성화하는 데 기여합니다.
그래핀 시장은 전자, 자동차, 항공우주, 의료 등 다양한 산업에서 혁신적인 소재로 주목받으며 폭발적인 성장세를 보이고 있습니다. 그래핀 기반 솔루션의 채택률이 빠르게 증가하고 있으며, 여러 시장 조사 기관들은 향후 10년간 매우 높은 연평균 성장률을 기록할 것으로 전망하고 있습니다.
한 보고서에 따르면 세계 그래핀 시장은 2023년 13억 달러 규모에서 연평균 35% 성장하여 2030년에는 1109억 달러에 이를 것으로 예상됩니다. (출처)
전자, 자동차, 항공우주 등 주요 산업에서 그래핀 기반 솔루션 채택률이 연간 40% 이상 증가하고 있습니다. (출처)
IDTechEx는 그래핀 시장이 향후 10년간 연평균 27%의 성장률을 보이며 2034년까지 16억 달러를 초과할 것으로 전망했습니다. (출처)

그래핀 시장은 아직 초기 단계로, 수많은 연구 기관과 기업들이 기술 개발 및 상용화를 위해 치열하게 경쟁하고 있습니다. 현재 시장은 확고한 지배적 사업자 없이 다수의 플레이어가 분산되어 있으며, 고품질 그래핀의 안정적인 대량 생산 기술을 확보하는 것이 핵심 경쟁력으로 작용하고 있습니다. 시장의 주요 과제로는 높은 생산 비용, 품질 표준화 부재, 기존 공정과의 통합 문제 등이 꼽히며, 이를 해결하는 기업이 향후 시장을 선도할 것으로 보입니다.
생산 기술의 발전: CVD 및 액상 박리 등 그래핀 생산 방법의 발전이 품질 향상과 비용 절감을 이끌며 시장 성장의 핵심 동력으로 작용하고 있습니다.
전방 산업의 수요 증가: 전기차, 휴대용 전자기기, 5G 통신 등 차세대 산업의 성장이 고성능 그래핀 소재에 대한 수요를 폭발적으로 증가시키고 있습니다.
정부의 적극적인 지원: 각국 정부는 그래핀을 미래 핵심 소재로 지정하고 R&D 지원, 기술 로드맵 수립 등 산업 육성을 위한 정책을 적극적으로 추진하고 있습니다.
응용 분야의 다각화: 기존의 전자, 에너지 분야를 넘어 복합소재, 바이오센서, 수처리 필터 등 새로운 응용 분야가 지속적으로 발굴되면서 새로운 시장 기회를 창출하고 있습니다.

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[기술 요약] 기존 그래핀 제조 시 발생하던 폴딩 결함은 그래핀의 성능을 저하시키는 주요 문제였습니다. 본 발명은 이러한 문제점을 해결하여, 폴딩 결함이 없는 고품질 대면적 단층 단결정 그래핀을 제조하는 혁신적인 방법을 제시합니다. 특정 성장 온도 조건(Tgrowth < Tstep)에서 단결정 금속 포일에 탄소 소스를 공급함으로써, 폴딩 결함의 근본 원인인 스텝 번칭 발생을 원천적으로 방지합니다. 이 기술은 에드레이어 없는 우수한 결정성의 그래핀을 제공하며, 높은 전자 및 정공 이동도를 보장합니다. 또한, 사용된 금속 포일의 재활용이 가능하여 경제적이고 효율적인 그래핀 생산이 가능합니다. 이로써 그래핀을 활용하는 다양한 전자 소자 및 적층체의 성능을 극대화할 수 있습니다.
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