[특허 요약] 본 발명은 폴딩 결함으로부터 자유로우며, 대면적의 고품질 단층 단결정 그래핀을 제조할 수 있는 그래핀 제조방법에 관한 것으로, 상세하게, 본 발명에 따른 그래핀 제조방법은 하기 조건 1을 만족하는 온도에서 단결정 금속 포일에 기상의 탄소 소스(carbon source)를 공급하여, 단결정 금속 포일에 그래핀을 성장시키는 단계를 포함한다. (조건 1) Tgrowth < Tstep 조건 1에서 Tgrowth는 그래핀을 성장시키는 온도(K)이며, Tstep은 동일 단결정 금속 포일에 그래핀이 성장된 그래핀-금속 포일 적층체 기준, 단결정 금속 포일의 스텝 번칭(step bunching) 발생 온도(K)이다.

등록번호

20230014666

출원번호

1020220090099

출원인

기초과학연구원, 울산과학기술원

키워드

graphene, crystal, metal foil, temperature, layer