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기존 단결정 금속포일 제조는 고가의 기판 사용과 제한된 면적, 열처리 시 발생하는 응력 및 결정립 성장 피닝 현상으로 인해 대면적 고품질 생산이 어려웠습니다. 본 기술은 다결정 금속포일을 기저와 이격시키고 응력을 최소화하는 열처리 방식을 통해 이러한 한계를 극복합니다. 특수 설계된 금속포일 거치대에 매달아 곧게 펴진 상태로 열처리함으로써, 포일과 챔버의 접촉을 최소화하고 열변형 응력 발생을 억제합니다. 이를 통해 5~200㎛ 두께의 다양한 금속으로 대면적, 고품질의 양면 동일 결정면을 가진 단결정 금속포일을 효과적으로 제조할 수 있습니다. 이 기술로 생산된 단결정 금속포일은 우수한 전기전도도와 크리이프 저항성을 가지며, 그래핀 및 2차원 나노소재의 고품질 합성 촉매, 인쇄회로기판, 방열판 등 고성능 전기전자 부품에 광범위하게 활용될 수 있습니다.
| 기술 분야 |
| 단결정 금속 제조 기술 |
| 판매 유형 | 자체 판매 |
| 판매 상태 | 판매 중 |
| 기술명 | |
| 단결정 금속포일, 및 이의 제조방법 | |
| 기관명 | |
| 기초과학연구원, 울산과학기술원 | |
| 대표 연구자 | 공동연구자 |
| Rodney S. Ruoff | - |
| 출원번호 | 등록번호 |
| 1020180014745 | 1019975450000 |
| 권리구분 | 출원일 |
| 특허 | 2018.02.06 |
| 중요 키워드 | |
금속 열처리그래핀 합성이차전지 동박투명 전극응력 최소화대면적 그래핀고품질 금속챔버 설계단결정 금속포일결정립 성장고전도성 재료화학기상증착금속 결정화나노소재 촉매차세대 반도체전자부품회로제조반도체제조반도체소자나노구조나노응용이차전지반도체/디스플레이 | |
| 출원번호 | 출원일 |
| 202117354104 | 2021.06.22 |
| 종류코드 | |
| B2 | |
| 외부 링크 | |
기존의 화학기상증착법(CVD)은 상업적으로 쉽게 구할 수 있는 다결정 금속 촉매를 사용하지만, 대부분 다결정 그래핀이 합성되어 전기적, 기계적 물성이 상대적으로 떨어지는 한계가 있습니다.
단결정 사파이어와 같은 고가의 기판을 사용하는 방법은 제조 면적이 제한적이고 경제성이 떨어지는 단점이 있습니다.
기존의 다결정 금속박막 열처리 기술은 구리박막의 두께가 18㎛를 초과하면 단결정화가 제대로 이루어지지 않아 사용 가능한 두께 범위가 5~18㎛로 매우 제한적이었습니다.
금속박막을 챔버 바닥에 놓고 열처리할 경우, 접촉면에서 결정립 성장 피닝(pinning) 현상이나 열변형에 의한 응력이 발생하여 효과적인 단결정화가 어려웠습니다.
고품질의 대면적 단결정 그래핀을 합성하기 위해서는, 먼저 대면적의 단결정 금속 촉매층을 형성할 수 있는 선행 기술 개발이 필수적입니다.
기존 기술의 한계(비용, 면적, 두께 제한, 품질 저하)를 극복하고, 경제적이면서도 효과적으로 대면적 단결정 금속포일을 제조할 수 있는 새로운 방법이 필요합니다.
열처리 과정에서 금속포일에 가해지는 외부 응력과 물리적 접촉을 최소화하여 결정 성장을 방해하는 요소를 제거하는 혁신적인 접근이 요구됩니다.
본 발명의 핵심 원리는 다결정 금속포일을 챔버 바닥(기저)과 물리적으로 떨어뜨려 부유시킨 상태에서 열처리하는 것입니다.
이러한 방식은 금속포일이 다른 물질과 접촉하는 것을 최소화하여, 결정 성장을 방해하는 '결정립 성장 피닝(grain growth pinning)' 현상을 방지합니다.
고온 열처리에 의한 열변형 및 응력 발생을 억제하여 결함 없는 대면적 단결정화를 촉진합니다.
금속포일의 양면이 동일한 조건에서 열처리되므로, 최종적으로 양면이 동일한 결정면을 가지는 고품질 단결정 금속포일을 제조할 수 있습니다.
다결정 금속포일의 일부를 고정 부재(로드, 집게, 후크고리 등)를 이용해 고정하여, 챔버 내에서 부유하도록 위치시킵니다.
고정된 부분을 제외한 나머지 부분이 주름이나 굴곡 없이 곧게 펴진 상태를 유지하도록 하여, 결함 없는 단결정 성장을 유도합니다.
금속의 융점(Tm)에 기반한 특정 온도(0.3 × Tm ≤ T < Tm)와 압력(0.0001~10 기압) 조건에서 0.5~90시간 동안 열처리를 수행합니다.
수소, 아르곤 또는 이들의 혼합 기체 분위기 하에서 열처리를 진행하여 금속포일의 산화를 방지하고 원자 이동을 가속화하여 결정 성장을 촉진합니다.

대면적 단결정 금속포일 제조: 고가의 기판 없이도 경제적으로 넓은 면적의 단결정 금속포일을 생산할 수 있습니다.
넓은 두께 범위 적용: 기존 기술의 한계였던 18㎛를 넘어 5~200㎛의 다양한 두께를 가진 금속포일에 적용 가능합니다.
고품질 단결정 확보: 금속포일 양면이 동일한 결정면을 가지며, 시편의 95% 이상이 동일 결정면을 가진 결정립으로 구성된 고품질 단결정 포일을 얻을 수 있습니다.
다양한 금속 적용 가능: 구리(Cu) 뿐만 아니라 니켈(Ni), 코발트(Co) 등 다양한 전이금속 포일의 단결정화에 활용할 수 있습니다.
본 실험의 목적은 다결정 금속포일을 거치대에 매달아 기저와 이격시킨 조건(본 발명)과 챔버 바닥에 직접 놓은 조건(기존 방식)에서 열처리를 수행하여, 최종적으로 제조된 금속포일의 단결정화 수준을 비교하고 본 발명의 우수성을 입증하는 것입니다.
실시예: 상용 다결정 구리포일(2cm x 8cm, 80㎛)을 석영 거치대에 매달아 챔버 바닥과 분리시킵니다.
비교예: 동일한 사양의 다결정 구리포일을 석영관 챔버 바닥면에 직접 올려놓습니다.
동일 조건(1050℃, 12시간, 수소/아르곤 분위기)에서 열처리를 진행합니다.
열처리 후, 각 시편의 결정 구조를 EBSD(전자후방산란회절) 분석을 통해 관찰하고 단결정 영역의 면적을 비교합니다.
본 발명(실시예)과 기존 방식(비교예)의 실험 결과는 아래 표와 같이 뚜렷한 차이를 보였습니다.
구분 | 금속 종류 | 두께(㎛) | 열처리 온도(℃) | 열처리 시간(h) | 수소/아르곤(sccm) | 단결정화 비율 ((A_normal/A_total)×100)(%) |
|---|---|---|---|---|---|---|
실시예 1 | Cu | 5 | >1050 | 12 | 10/10 | 5 |
실시예 2 | Cu | 10 | <1050 | 12 | 10/10 | 99 |
실시예 3 | Cu | 20 | <1050 | 12 | 10/10 | 99 |
실시예 4 | Cu | 30 | <1050 | 12 | 10/10 | 99 |
실시예 5 | Cu | 50 | <1050 | 12 | 10/10 | 99 |
실시예 6 | Cu | 80 | <1050 | 12 | 10/10 | 99 |
실시예 7 | Cu | 200 | 1050 | 96 | 10/10 | ~10 |
실시예 8 | Ni | 100 | <1350 | 24 | 30/30 | 99 |
실시예 9 | Co | 50 | <1350 | 48 | 30/30 | 99 |
비교예 1 | Cu | 80 | 1050 | 12 | 10/10 | ~48 |
실험 결과, 거치대에 매달아 열처리한 실시예 6의 경우 단결정화 비율이 99%에 달하며 시편 전 영역에 걸쳐 고품질의 단결정 구리포일이 제조되었습니다. 반면, 챔버 바닥에 놓고 열처리한 비교예 1은 많은 결정립계가 형성되었고 단결정 영역은 약 48%에 불과했습니다. 이는 포일과 챔버의 접촉으로 인한 결정립 성장 피닝 현상 및 열응력 발생이 단결정화를 방해했기 때문으로, 본 발명의 우수성이 명확히 입증되었습니다.
고품질 그래핀 및 2차원 나노소재 합성: 균일한 표면을 가진 단결정 금속포일을 촉매로 사용하여, 결함이 적은 대면적 단결정 그래핀 및 기타 2차원 나노소재를 합성하는 데 활용될 수 있습니다.
고성능 전기/전자 부품: 우수한 전기 및 열전도성을 바탕으로 고성능 인쇄회로기판(PCB), 방열판, 전극 등 전기전자 제품의 핵심 부품 소재로 사용될 수 있습니다.
차세대 반도체 및 디스플레이: 본 기술로 제조된 단결정 그래핀은 차세대 반도체 소자, 투명 전극, 플렉서블 디스플레이 등 미래 산업 분야에 광범위하게 응용될 수 있습니다.
경제적 효과: 고가의 단결정 기판을 대체하여 대면적 단결정 소재의 생산 비용을 획기적으로 절감하고, 관련 산업의 가격 경쟁력을 높일 수 있습니다.
기술적 파급 효과: 고품질 기초 소재(단결정 포일)의 안정적인 공급을 통해 소재, 부품, 장비 산업의 기술 자립도를 높이고, 차세대 전자 및 재료 과학 분야의 연구 개발을 촉진할 수 있습니다.
신시장 창출: 기존에는 불가능했던 새로운 특성의 소재 및 부품 개발을 가능하게 하여, 미래 산업 분야에서 새로운 시장을 창출하고 국가 경쟁력을 강화하는 데 기여할 수 있습니다.
본 기술은 고성능 금속 소재 시장과 그래핀 시장 모두에 직접적인 영향을 미치는 핵심 기술입니다. 두 시장 모두 가파른 성장세를 보이고 있습니다.
동박 시장: 전 세계 전기차 및 ESS용 이차전지 시장은 2021년부터 2030년까지 연평균 27% 성장할 것으로 예측되며, 이에 따라 핵심 소재인 동박의 수요가 급증하고 있습니다. 현재 시장은 수요를 공급이 따라가지 못하는 상황입니다. (출처).
그래핀 시장: 국내 그래핀 시장은 2019년 약 5,777억 원에서 2025년 19조 4,555억 원으로 폭발적인 성장이 전망됩니다. 특히 OLED 패널, 슈퍼커패시터, 터치패널 모듈 등의 분야에서 높은 매출이 기대됩니다. (출처).
고성능 동박 및 금속포일 시장은 이차전지, 반도체 등 전방 산업의 수요 급증으로 인해 공급 부족 현상이 심화되고 있습니다. 이는 기술력을 갖춘 기업에게 큰 기회 요인으로 작용하며, 국내외 주요 소재 기업들이 생산 능력 확대를 위해 치열하게 경쟁하는 구도입니다. 본 기술과 같이 제조 비용을 절감하면서도 품질을 높일 수 있는 독보적인 기술은 시장에서 강력한 경쟁 우위를 확보할 수 있습니다.
전기차(EV) 및 에너지 저장 시스템(ESS) 시장의 폭발적 성장: 이차전지의 핵심 소재인 고품질 동박 및 금속포일에 대한 수요를 폭발적으로 증가시키는 가장 큰 동인입니다.
차세대 전자소재 기술 발전: 고속 통신, 플렉서블 디스플레이, 고성능 반도체 등 미래 기술 구현을 위해 단결정 그래핀과 같은 혁신 소재의 필요성이 증대되고 있습니다.
전자기기 고집적화 및 소형화 트렌드: 기기가 작고 복잡해질수록 우수한 열 및 전기 전도성을 가진 고효율 소재의 중요성이 부각되며, 단결정 금속포일이 이상적인 해결책을 제공합니다.

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[기술 요약] 기존 단결정 금속포일 제조는 고가의 기판 사용과 제한된 면적, 열처리 시 발생하는 응력 및 결정립 성장 피닝 현상으로 인해 대면적 고품질 생산이 어려웠습니다. 본 기술은 다결정 금속포일을 기저와 이격시키고 응력을 최소화하는 열처리 방식을 통해 이러한 한계를 극복합니다. 특수 설계된 금속포일 거치대에 매달아 곧게 펴진 상태로 열처리함으로써, 포일과 챔버의 접촉을 최소화하고 열변형 응력 발생을 억제합니다. 이를 통해 5~200㎛ 두께의 다양한 금속으로 대면적, 고품질의 양면 동일 결정면을 가진 단결정 금속포일을 효과적으로 제조할 수 있습니다. 이 기술로 생산된 단결정 금속포일은 우수한 전기전도도와 크리이프 저항성을 가지며, 그래핀 및 2차원 나노소재의 고품질 합성 촉매, 인쇄회로기판, 방열판 등 고성능 전기전자 부품에 광범위하게 활용될 수 있습니다.
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