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기존 단결정 금속포일 제조 방식은 두께 제한 및 응력 발생으로 대면적 고품질 구현에 어려움이 있었습니다. 본 기술은 다결정 금속포일의 양 말단을 전극으로 고정하고, 열처리 시 발생하는 열팽창에 맞춰 전극을 이동시켜 포일에 가해지는 응력을 최소화하는 혁신적인 제조 방법을 제안합니다. 이를 통해 결정립계 형성 없이 양면이 동일한 결정면을 갖는 대면적 고품질 단결정 금속포일을 효율적으로 생산할 수 있습니다. 본 발명은 전기전자 부품 및 그래핀 등 2차원 나노소재 합성 촉매 등 다양한 첨단 산업 분야에 활용되어 고성능 재료 개발에 기여할 것입니다.
| 기술 분야 | 단결정 금속포일 제조 |
| 판매 유형 |
| 자체 판매 |
| 판매 상태 | 판매 중 |
| 기술명 | |
| 단결정 금속포일 및 이의 제조방법 | |
| 기관명 | |
| 기초과학연구원, 울산과학기술원 | |
| 대표 연구자 | 공동연구자 |
| Rodney S. Ruoff | - |
| 출원번호 | 등록번호 |
| 1020170160210 | 1023962150000 |
| 권리구분 | 출원일 |
| 특허 | 2017.11.28 |
| 중요 키워드 | |
어닐링 기술열처리다결정 금속응력 제어고성능 금속저항 가열그래핀 촉매나노소재 성장단결정 금속포일대면적 제조박막 제조금속 결정화결정립계 제어전자재료차세대 반도체전자부품반도체제조반도체소자나노구조나노응용반도체/디스플레이 | |
| 출원번호 | 출원일 |
| 202418640113 | 2024.04.19 |
| 종류코드 | |
| A1 | |
| 외부 링크 | |
기존 단결정 금속 제조 기술은 고가의 단결정 기판을 사용해야 하므로 면적이 제한적이고 경제성이 떨어지는 단점이 있었습니다.
다결정 금속박막을 직접 단결정으로 변환하는 방법은 사용 가능한 박막의 두께가 5~18㎛로 매우 좁은 범위로 제한되는 문제점이 있었습니다.
기판 없이 열처리를 수행할 경우, 챔버 바닥면과의 접촉으로 인해 결정립 성장 피닝(pinning) 현상이 발생하거나, 고온에 의한 열변형 응력으로 인해 효과적인 단결정화가 어려웠습니다.
그래핀과 같은 2차원 나노소재의 우수한 물성을 극대화하기 위해, 대면적 단결정 그래핀 합성이 필수적이며, 이를 위해서는 대면적 단결정 금속층 성장 기술 개발이 선행되어야 합니다.
기존 공정의 한계를 극복하고, 열변형에 의한 응력 발생을 억제하여 다양한 두께의 포일로부터 대면적 단결정 금속포일을 안정적으로 제조할 수 있는 새로운 방법이 필요합니다.
다결정 금속포일의 양쪽 끝을 전극으로 고정하여, 단결정화될 핵심 영역이 다른 물질과 접촉하지 않는 개방된 상태를 만듭니다. 이를 통해 접촉으로 인한 결정립 성장 방해(피닝) 현상을 최소화합니다.
고온 열처리 시 발생하는 열팽창에 의해 포일의 길이가 늘어날 때, 전극의 위치를 이동시켜 포일이 항상 곧게 펴진 상태를 유지하도록 합니다. 이는 포일 내부의 응력 발생을 억제하여 효과적인 단결정화를 유도하는 핵심 원리입니다.
다결정 금속포일의 양쪽 끝을 두 개의 분리된 전극으로 각각 고정합니다.
전극에 전류를 인가하는 저항가열 방식으로 포일의 온도를 목표 온도까지 올리는 1차 열처리를 진행합니다.
1차 열처리 과정에서 열팽창으로 늘어난 포일의 길이만큼 전극을 이동시켜, 포일이 휘어지지 않고 곧게 펴진 상태를 복원합니다.
최종 승온된 온도에서 일정 시간 동안 어닐링(annealing)하는 2차 열처리를 수행하여 단결정 성장을 완료합니다.

대면적 단결정 제조: 열팽창으로 인한 응력 발생을 억제하여 대면적의 단결정 금속포일을 효과적으로 제조할 수 있습니다.
두께 제약 극복: 기존 기술의 5~18㎛의 좁은 두께 범위를 5~200㎛까지 크게 확장하여 다양한 사양의 포일에 적용 가능합니다.
고품질 단결정 확보: 포일 양면이 동일한 조건에서 열처리되어, 양면이 동일한 결정면을 가지는 고품질 단결정을 얻을 수 있습니다.
공정 단순성 및 경제성: 고가의 단결정 기판 없이 상용 다결정 포일을 사용하므로 경제적이며 공정이 비교적 간단합니다.
본 실험의 목적은 다결정 금속포일 열처리 시, 열팽창에 의한 길이 변화를 보상해주는 공정(전극 이동)이 단결정 성장에 미치는 영향을 비교 검증하는 것입니다. 이를 통해 제안된 방법이 응력 발생을 억제하여 대면적 단결정 포일 제조에 결정적인 역할을 함을 입증하고자 하였습니다.
두께 50㎛의 다결정 백금포일을 상하부 전극 사이에 곧게 펴지도록 고정했습니다.
저항가열 방식으로 16분에 걸쳐 1610℃까지 온도를 승온시켰습니다.
열팽창에 따른 길이 변화만큼 하부 전극을 아래로 이동시켜 백금포일이 곧게 펴진 상태를 유지했습니다. (실시예 1)
동일 온도(1610℃)에서 약 12시간 동안 열처리를 수행하여 단결정 백금포일을 제조했습니다.
비교를 위해 하부 전극을 고정한 상태로 동일한 열처리를 진행했습니다. (비교예 1)
구분 | 실시예 1 | 비교예 1 |
|---|---|---|
공정 핵심 | 하부 전극 이동으로 열팽창 보상 | 대면적 단결정 백금포일 형성 |
공정 핵심 | 하부 전극 고정 | 포일 중앙부 휨 발생 및 결정립계 형성 |
실험 결과, 열팽창을 보상해 준 실시예 1에서는 응력 없이 대면적의 단결정 백금포일이 성공적으로 제조되었습니다. 반면, 전극을 고정한 비교예 1에서는 열팽창으로 인해 포일이 휘어지고, 이 부분에 응력이 집중되어 다수의 결정립계가 형성되었습니다. 이는 본 발명의 핵심 원리인 '응력 억제'가 대면적 단결정 제조에 필수적임을 명확히 보여줍니다.
고성능 전자 부품 소재: 우수한 전기전도성을 바탕으로 인쇄회로기판(PCB), 방열판 등 고성능 금속 부품으로 활용될 수 있습니다.
차세대 소재 합성용 촉매: 균일한 표면 결정성을 활용하여 그래핀 및 2차원 나노소재 합성을 위한 고품질 촉매 기판으로 사용될 수 있습니다.
고효율 화학반응 촉매: 일산화탄소 산화, 산소 환원 등 다양한 화학반응에서 반응 효율을 극대화하는 촉매로 광범위하게 활용 가능합니다.
기술 경쟁력 확보: 고품질·대면적 단결정 금속포일 제조 원천 기술 확보를 통해 차세대 소재 및 부품 시장에서 글로벌 기술 우위를 선점할 수 있습니다.
전방 산업 발전 기여: 고성능 그래핀, 반도체, 디스플레이 등 첨단 산업의 기술적 한계를 돌파하고 상용화를 가속하는 데 기여할 수 있습니다.
경제적 가치 창출: 기존의 고비용 공정을 대체하여 제조 비용을 절감하고, 고부가가치 신소재 시장 창출을 통해 막대한 경제적 이익을 기대할 수 있습니다.
본 기술은 고품질 그래핀 성장의 핵심인 단결정 금속 촉매를 제조하는 기술로, 그래핀 시장의 성장과 직접적으로 연관됩니다. 그래핀 시장은 다양한 응용 분야에서의 폭발적인 수요 증가에 힘입어 가파른 성장이 예상됩니다.
글로벌 그래핀 시장은 연평균 22.1%의 성장률을 보이며, 2030년까지 약 600조 원 규모에 이를 것으로 전망됩니다. (출처: KAIST)
특히, 고성능 집적회로 및 차세대 반도체 분야에서 완벽한 단결정 그래핀의 필요성이 커지고 있어, 본 기술과 같은 고품질 단결정 촉매 기술의 시장 가치는 더욱 높아질 것으로 예상됩니다.
첨단 산업의 소재 혁신 수요: 배터리 전극, 스마트폰 방열판 등 고성능이 요구되는 분야에서 기존 소재의 한계를 극복할 수 있는 고품질 흑연(그래핀)에 대한 수요가 급증하고 있습니다.
대면적 단결정 합성 기술의 필요성: 현재 산업계의 가장 큰 과제 중 하나인 '대면적 고품질 단결정' 합성을 가능하게 하는 본 기술은 시장의 핵심적인 요구를 해결하는 선구적인 기술로 평가받고 있습니다. (출처: UNIST News Center)
4차 산업혁명과 맞춤형 소재: 4차 산업혁명 시대에 접어들면서, 특정 목적에 맞게 물성을 최적화할 수 있는 맞춤형 소재의 중요성이 부각되고 있습니다. 본 기술은 다양한 금속으로 단결정 포일을 제조할 수 있어 이러한 시장 요구에 효과적으로 대응할 수 있는 기회를 제공합니다.

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[기술 요약] 기존 단결정 금속포일 제조 방식은 두께 제한 및 응력 발생으로 대면적 고품질 구현에 어려움이 있었습니다. 본 기술은 다결정 금속포일의 양 말단을 전극으로 고정하고, 열처리 시 발생하는 열팽창에 맞춰 전극을 이동시켜 포일에 가해지는 응력을 최소화하는 혁신적인 제조 방법을 제안합니다. 이를 통해 결정립계 형성 없이 양면이 동일한 결정면을 갖는 대면적 고품질 단결정 금속포일을 효율적으로 생산할 수 있습니다. 본 발명은 전기전자 부품 및 그래핀 등 2차원 나노소재 합성 촉매 등 다양한 첨단 산업 분야에 활용되어 고성능 재료 개발에 기여할 것입니다.
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