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기존 산화물 기반 저항변화 메모리는 내부 결함으로 안정성 확보에 어려움이 있었습니다. 본 기술은 이러한 한계를 극복하기 위해 비산화물계 CrPS4를 부도체로 활용한 고성능 저항변화 메모리 소자를 제안합니다. 화학 기상 증착법으로 제조된 벌크 CrPS4를 박리하여 고품질의 부도체층을 형성하고, 이를 전극이 패턴된 기판에 정교하게 전사한 후 두 번째 전극을 증착하는 방식으로 소자를 제작합니다. 이 공법으로 제작된 소자는 2V 미만의 동작 전압과 10^7 이상의 높은 on/off 비율을 자랑하며, 뛰어난 재현성과 내구성으로 차세대 비휘발성 메모리 시장에 새로운 가능성을 제시합니다.
기술 분야 | 저항변화 메모리 소자 |
판매 유형 | 자체 판매 |
판매 상태 | 판매 중 |
기술명 | |
CrPS4를 이용한 저항변화 메모리 소자 및 그 제조방법 | |
기관명 | |
건국대학교 산학협력단 서울대학교산학협력단 기초과학연구원 | |
대표 연구자 | 공동연구자 |
박제근 | - |
출원번호 | 등록번호 |
1020150189127 | 1017914540000 |
권리구분 | 출원일 |
특허 | 2015.12.30 |
중요 키워드 | |
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