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[특허 요약] 본 발명은 CrPS4를 부도체로 이용한 저항변화 메모리 소자 및 그 제조방법에 관한 것으로, 벌크 형태의 CrPS4를 박리법에 의해 희생기판(210) 위에 박리하여 부도체층(130)을 제작하는 제1단계와; 제1전극(110)이 패턴된 기판(101)에 박리된 상기 부도체층(130)을 전사하는 제2단계와; 전사된 부도체층(130)에 제2전극(120)을 증착하는 제3단계;를 포함한다.
| 특허 상태 | 등록 |
| 출원인 | 건국대학교 산학협력단, 서울대학교산학협력단, 기초과학연구원 |
| 발명자 | 이미정, 이상익, 박배호, 김동직, 박제근 |
| 출원번호 | 1020150189127 |
| 출원일 | 2015.12.30 |
| 등록번호 | 20170080726 |
| 등록일 | 2017.07.11 |
| 중요 키워드 | electrodelayersacrificial substratesupport layercrps |
본 발명은 CrPS4를 부도체로 이용한 저항변화 메모리 소자 및 그 제조방법에 관한 것으로, 벌크 형태의 CrPS4를 박리법에 의해 희생기판(210) 위에 박리하여 부도체층(130)을 제작하는 제1단계와; 제1전극(110)이 패턴된 기판(101)에 박리된 상기 부도체층(130)을 전사하는 제2단계와; 전사된 부도체층(130)에 제2전극(120)을 증착하는 제3단계;를 포함한다.
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