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기존 극초단 레이저 펄스 절대위상 측정은 고가의 복잡한 장비를 필요로 하며 상대적인 값만 측정하는 한계가 있었습니다. 본 기술은 레이저 펄스와 이차조화파의 상호작용으로 발생하는 이온화량 변화 진폭을 측정하여 레이저 펄스의 절대위상을 정확하게 산출합니다. 유리쐐기를 이용한 절대위상 조절, 비선형 결정을 통한 이차조화파 생성, 시간 지연 조절 및 이온화 물질 집속 후 전자/이온 측정을 통해 구현됩니다. 이를 통해 복잡한 장비 없이도 절대위상의 정확한 값을 알 수 있어 원가 절감과 제품 생산성 및 신뢰도를 크게 향상시킬 수 있습니다.
| 기술 분야 | 극초단 레이저 기술 |
| 판매 유형 |
| 자체 판매 |
| 판매 상태 | 판매 중 |
| 기술명 | |
| 레이저 펄스의 절대위상 측정 장치 및 방법 | |
| 기관명 | |
| 기초과학연구원, 광주과학기술원 | |
| 대표 연구자 | 공동연구자 |
| 김경택 | - |
| 출원번호 | 등록번호 |
| 1020160144689 | 1020317950000 |
| 권리구분 | 출원일 |
| 특허 | 2016.11.01 |
| 중요 키워드 | |
극초단 레이저레이저 펄스 절대위상정밀 측정 장치비용 절감 기술초고속 레이저 펄스생산성 향상 | |
최근 레이저 기술의 발전으로 펄스 폭이 극히 짧은 극초단 레이저 펄스 개발이 활발하지만, 이러한 펄스는 전기장 파형의 미세한 변화인 '절대위상(CEP)'에 따라 특성이 크게 달라져 정밀한 측정이 중요해졌습니다.
기존의 f-2f 간섭계 방식은 절대위상의 '상대적인 변화'만 측정할 수 있을 뿐, 정확한 '절대값'을 알 수 없는 한계가 있었습니다.
절대값을 측정하기 위한 다른 방법들은 연 엑스선 또는 광전자 측정 장치와 같은 복잡하고 고가의 장비를 필요로 하여 비용과 생산성 측면에서 비효율적이었습니다.
고차조화파 발생, 초정밀 가공 등 첨단 응용 분야에서 레이저 성능을 극대화하기 위해 절대위상의 '정확한 값'을 측정할 수 있는 기술이 필수적이었습니다.
복잡한 부가 장비 없이, 이온화 현상과 이차조화파를 이용하여 간단하고 경제적인 방식으로 절대위상을 측정할 수 있는 새로운 장치 및 방법의 개발이 절실히 요구되었습니다.
본 기술은 측정하려는 주 레이저 펄스에 이로부터 생성된 약한 이차조화파 펄스를 시간 지연을 두고 더해주는 원리를 이용합니다.
두 펄스가 합쳐져 이온화 물질(예: 아르곤 가스)에 닿으면 이온이 발생하는데, 이때 생성되는 이온화량은 두 펄스 간의 시간 지연과 주 펄스의 절대위상에 따라 주기적으로 변하게 됩니다.
이론적으로 주 펄스의 절대위상이 0일 때 이온화량 변화의 진폭이 최대가 되므로, 이 진폭이 최대가 되는 지점을 찾아냄으로써 레이저 펄스의 정확한 절대위상 값을 측정할 수 있습니다.
절대위상 변화부: 유리쐐기(Glass Wedge)의 두께를 조절하여 레이저 펄스의 절대위상을 미세하게 변화시킵니다.
이차조화파 생성부: BBO와 같은 비선형 결정을 이용하여 주 레이저 펄스로부터 이차조화파(두 번째 주파수 성분)를 생성합니다. 이때 이차조화파의 세기는 주 펄스의 0.1% 초과 20% 미만으로 조절합니다.
빔 시간 지연 조절부: 평행 이동 스테이지 위의 거울을 움직여 주 펄스와 이차조화파 펄스 사이의 광경로 길이를 조절함으로써, 두 펄스가 만나는 시간차(지연)를 제어합니다.
집속부 및 이온화량 측정부: 렌즈나 거울을 이용해 두 펄스를 이온화 물질에 집속시키고, 이때 발생한 전자와 이온을 전극으로 수집하여 전기 신호 형태의 이온화량으로 측정합니다.

비용 절감 및 생산성 향상: 별도의 복잡하고 값비싼 측정 장치가 필요 없어 원가를 크게 절감하고 제품 생산성을 높일 수 있습니다.
높은 정확도와 신뢰도: 단순히 상대적인 변화가 아닌 절대위상의 '정확한 값'을 알 수 있어 측정 장치의 정확도와 신뢰도를 획기적으로 향상시킵니다.
간단한 구성: 이온화에 의해 생성되는 전류를 직접 측정하는 간단한 장치를 이용하여 시스템 구성이 매우 용이합니다.
본 실험의 목적은 제안된 측정 방법을 실험적으로 구현하여, 레이저 펄스의 절대위상 변화에 따른 이온화량 변화 진폭을 실제로 측정하고 이론적 모델과 비교함으로써 기술의 타당성을 검증하는 것입니다.
중심 파장 730nm, 펄스 폭 5fs인 티타늄 사파이어 레이저 펄스를 사용했습니다.
5mbar 압력의 아르곤(Ar) 가스를 이온화 물질로 사용하여 레이저 펄스와 이차조화파 펄스를 집속시켰습니다.
유리쐐기를 이용해 절대위상을 미소량씩 변화시키면서, 각 위상 값에 대해 시간 지연에 따른 이온화량 변화를 측정했습니다.
측정된 이온화량 변화 곡선으로부터 진폭을 계산하고, 이 진폭 값을 절대위상 변화에 따라 그래프로 나타내어 이론값과 비교 분석했습니다.
실험 결과, 아래 그래프와 같이 이론적 계산과 동일하게 절대위상이 0일 때 이온화량 변화의 진폭이 최댓값을 보이는 것을 명확히 확인할 수 있었습니다. 이는 본 발명에서 제안하는 측정 원리가 실제 환경에서도 매우 정확하게 작동함을 실험적으로 입증한 것입니다.
본 기술의 핵심인 이온화량 측정은 다양한 물질과 방식을 통해 구현될 수 있어 여러 산업 환경에 맞게 적용 가능합니다. 주요 이온화 방식은 다음과 같습니다.
이온화 물질/방식 | 설명 |
|---|---|
가스 (Gas) | 진공 챔버 내에 아르곤 등 불활성 기체를 주입하고 레이저를 집속하여 이온화. |
가스젯 (Gas Jet) | 가스젯 장치를 이용해 특정 위치에 가스를 분사하여 이온화 효율을 높임. |
날카로운 금속 물질 (Sharp Metal Tip) | 금속 팁 끝에서 전기장을 증폭시켜 이온화 유도, 생성된 전류를 직접 측정 가능. |
나노 구조물 (Nanostructure) | 나노 구조물을 이용하여 국소 영역의 전기장을 강화하고 이온화 유도. |
고차조화파 발생 제어: 절대위상을 정밀하게 측정하고 제어함으로써 고차조화파의 스펙트럼과 세기를 조절하여 아토초(attosecond) 과학 연구 발전에 핵심적으로 기여할 수 있습니다.
초정밀 가공 및 측정: 반도체, 디스플레이, 의료기기 등 펨토초 레이저를 이용한 미세 가공 및 정밀 측정 분야에서 공정 품질과 효율을 극대화할 수 있습니다.
기초 과학 연구 발전: 강한 장 물리(strong-field physics)와 같은 기초 과학 분야에서 실험 데이터의 정확도를 높이는 필수적인 도구로 활용될 수 있습니다.
세계 초단펄스레이저 시장은 2019년 4,470만 달러에서 2025년 3억 3,300만 달러에 달할 것으로 예상되며, 산업 전반에 걸쳐 필수적인 제조 도구로 자리 잡고 있습니다. (출처: 세계 초단펄스레이저 시장 분석, IACT) 아래 차트는 이러한 성장 전망을 시각적으로 보여줍니다.
주요 시장 분야: 재료 가공 및 미세 가공 분야가 2019년 기준 75.51%로 가장 큰 시장 점유율을 차지했습니다.
고성장 분야: 특히 의공학 분야는 예측 기간 동안 연평균 23.2%의 높은 성장률을 보일 것으로 전망됩니다.
펨토초 레이저 기술은 기존 기술의 한계를 극복하며 다양한 고부가가치 시장에서 경쟁 우위를 확보하고 있습니다.
응용 분야 | 기존 기술의 문제점 | 펨토초 레이저 기술의 해결 방안 |
|---|---|---|
반도체/디스플레이 열처리 | 주변부 열 손상 발생 | 선택적, 국소적 열처리로 손상 최소화 |
AMOLED 패널 리페어 | 나노초 레이저의 열 손상, 낮은 수율 | 비열 가공으로 정밀하고 손상 없는 리페어 |
투명 재료 절단 | 기계적 가공의 손상 및 비효율 | 비접촉, 깊은 가공으로 효율 및 품질 향상 |
제조 공정의 고도화: 반도체, 자동차, 가전제품 등 주요 산업에서 향상된 치수 정확도, 적은 공차, 후처리 단계 생략 등 고품질 정밀 가공에 대한 수요가 증가하고 있습니다.
차세대 기술 수요 증가: 5G 시대의 도래에 따른 스마트폰 및 네트워크 인프라 기기, 급증하는 반도체 시장이 초단펄스 레이저 기술의 수요를 견인하고 있습니다.
정부 규제 강화: 차량 연비 및 CO2 배출량 규제, 의료기기에 대한 레이저 마킹 의무화 등은 관련 산업에서 레이저 기술 도입을 가속화하는 요인입니다.

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[기술 요약] 기존 극초단 레이저 펄스 절대위상 측정은 고가의 복잡한 장비를 필요로 하며 상대적인 값만 측정하는 한계가 있었습니다. 본 기술은 레이저 펄스와 이차조화파의 상호작용으로 발생하는 이온화량 변화 진폭을 측정하여 레이저 펄스의 절대위상을 정확하게 산출합니다. 유리쐐기를 이용한 절대위상 조절, 비선형 결정을 통한 이차조화파 생성, 시간 지연 조절 및 이온화 물질 집속 후 전자/이온 측정을 통해 구현됩니다. 이를 통해 복잡한 장비 없이도 절대위상의 정확한 값을 알 수 있어 원가 절감과 제품 생산성 및 신뢰도를 크게 향상시킬 수 있습니다.
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