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기존 X선 홀로그래피 현미경은 대면적 샘플 측정 시 거리 제약으로 인해 조사 면적이 넓어져 분해능이 저하되고 노출 시간이 길어지는 문제가 있었습니다. 본 기술은 샘플의 자기상관 신호를 제거하여 레퍼런스와 샘플 사이의 거리 제약을 없애는 방식으로 이 문제를 해결합니다. 레퍼런스가 없거나 폐쇄된 상태의 홀로그램 이미지와 레퍼런스가 노출된 상태의 홀로그램 이미지를 각각 획득한 뒤, 이 두 이미지를 퓨리에 변환하여 비교하고 그 차이를 통해 숨겨진 샘플 이미지를 복원합니다. 이 방법을 통해 샘플과 레퍼런스 간 거리를 획기적으로 단축하여 대면적 샘플도 효율적으로 측정할 수 있습니다. 또한, 기존 대비 노출 시간을 크게 줄여 측정 비용 절감 및 샘플 손상 방지에 기여합니다.
| 기술 분야 | X선 홀로그래피 현미경 |
| 판매 유형 | 자체 판매 |
| 판매 상태 | 판매 중 |
| 기술명 | |
| 대면적 샘플용 x선 홀로그래피 현미경 측정장치 및 측정방법 | |
| 기관명 | |
| 기초과학연구원, 광주과학기술원 | |
| 대표 연구자 | 공동연구자 |
| 이경환 | |
| 출원번호 | 등록번호 |
| 1020160117402 | 1017221640000 |
| 권리구분 | 출원일 |
| 특허 | 2016.09.12 |
| 중요 키워드 | |
X선 현미경 기술노출 시간 단축비파괴 검사자기상관 신호대면적 현미경첨단 산업 응용 | |
기존의 X선 퓨리에 변환 홀로그래피는 높은 분해능과 신뢰성을 갖지만, 올바른 이미지 획득을 위해 샘플과 레퍼런스 사이에 샘플 크기 이상의 거리가 필요한 '거리 제약 조건'을 가집니다.
샘플 크기가 커질수록 필요한 조사 영역도 넓어져 단위 면적당 조도 감소, 분해능 저하, 노출 시간 증대 등의 문제가 발생합니다.
긴 노출 시간은 X선 이미징 시스템의 이용 비용 증가, 샘플 변질, 디텍터 수명 감소와 같은 부작용을 야기합니다.
넓은 조사 면적은 X선 광원의 결맞음성 저하를 유발하여 최종적으로 분해능을 감소시키는 원인이 됩니다.
기존 기술의 한계인 '거리 제약 조건'을 극복하여, 대면적 샘플도 효율적으로 측정할 수 있는 새로운 방식이 필요합니다.
샘플과 레퍼런스 사이의 거리를 획기적으로 줄여, 동일한 X선 조사 범위 내에서 더 큰 샘플을 관찰할 수 있는 기술이 요구됩니다.
노출 시간을 단축하여 측정 비용을 절감하고 샘플의 변질을 방지하여 측정의 신뢰도를 높일 필요가 있습니다.
본 발명은 샘플 자체의 회절 신호인 자기상관(autocorrelation) 신호를 제거하는 것을 핵심 원리로 합니다.
이를 위해 레퍼런스가 있는 홀로그램 이미지와 레퍼런스가 없는(또는 가려진) 홀로그램 이미지를 각각 획득합니다.
두 이미지의 차이를 계산함으로써 자기상관 신호를 효과적으로 제거하고, 샘플과 레퍼런스 사이의 거리 제약 조건을 무력화하여 순수한 샘플의 이미지만을 복원할 수 있습니다.
본 발명에 따른 측정 장치는 다음과 같은 주요 구성 요소로 이루어집니다.
X선 광원부: 펌핑 레이저를 이용해 금속판에서 특정 파장의 결맞은 X선을 생성합니다.
집속부: 생성된 X선을 모아 샘플에 집중적으로 조사합니다.
필터링부: 필요한 파장의 X선만 통과시키고 나머지 파장은 걸러냅니다.
샘플부: 측정할 샘플을 고정하며, 필요한 경우 레퍼런스를 가리는 블록킹 마스크를 포함할 수 있습니다.
검출부: 샘플을 통과한 X선으로부터 홀로그램 이미지를 획득하고, 두 이미지의 차이를 계산하여 최종 이미지를 복원합니다.

측정 방법은 크게 두 가지 실시예로 구현될 수 있습니다.
제1 실시예: 레퍼런스가 없는 샘플의 홀로그램을 먼저 얻고, 이후 샘플에 레퍼런스를 추가하여 두 번째 홀로그램을 얻은 뒤 두 이미지의 차이를 계산합니다.
제2 실시예: 레퍼런스가 이미 형성된 샘플을 준비하고, 블록킹 마스크를 이용해 레퍼런스를 가린 상태와 노출된 상태에서 각각 홀로그램을 얻어 두 이미지의 차이를 계산합니다.
거리 제약 조건 극복: 샘플과 레퍼런스의 거리를 획기적으로 줄여 대면적 샘플의 측정을 가능하게 합니다.
관찰 가능 샘플 크기 증대: 동일한 X선 조사 범위 내에서 더 큰 크기의 샘플을 관찰할 수 있습니다.
노출 시간 단축: 기존 방법에 비해 홀로그램 이미지 획득에 필요한 노출 시간을 획기적으로 줄여 측정 효율을 높이고 비용을 절감합니다.
본 실험의 목적은 제안된 측정 방법이 기존 X선 홀로그래피의 '거리 제약 조건'을 효과적으로 제거하여, 대면적 샘플에 대한 고품질 홀로그램 이미지를 짧은 노출 시간 내에 획득할 수 있음을 입증하는 것입니다.
레퍼런스가 있는 상태와 없는 상태(또는 가려진 상태)의 샘플을 준비합니다.
각 상태에서 X선을 조사하여 홀로그램 회절 이미지를 획득합니다.
획득된 두 홀로그램 이미지를 각각 퓨리에 변환합니다.
변환된 두 이미지의 차이를 계산하여 샘플의 자기상관 신호를 제거하고 최종 이미지를 복원합니다.
실험 결과, 본 발명은 자기상관 신호를 제거함으로써 샘플과 레퍼런스 사이의 거리가 가까워도 샘플의 숨겨진 이미지를 성공적으로 복원할 수 있음을 확인했습니다. 이는 기존 기술의 한계를 극복하고 다음과 같은 개선 효과를 가져옵니다.
기술 성능 비교
항목 | 기존 X선 홀로그래피 | 본 발명 |
|---|---|---|
거리 제약 조건 | 샘플 크기 이상으로 레퍼런스와 이격 필요 | 거리 제약 조건 없음 |
관찰 가능 샘플 크기 | 제한적 | 대면적 샘플 관찰 가능 |
노출 시간 | 장시간 소요 | 획기적으로 단축 |
분해능 | 결맞음성 저하로 인한 분해능 감소 우려 | 높은 분해능 유지 |
본 기술은 기존 바이오 영역을 넘어 반도체, 디스플레이 등 다양한 첨단 산업 분야로 확장이 가능합니다.
주요 활용 분야
산업 분야 | 구체적 활용 예시 |
|---|---|
바이오/의료 | 3D 생물학, 재생의학 연구, 실시간 세포 관찰 |
반도체/디스플레이 | Through Glass Via(TGV), 하이브리드 본딩, CMP 웨이퍼 등 공정의 3D 비파괴 검사 및 고해상도 측정 |
보안 | 위조 방지 기술 |
응용 제품 | 홀로그래픽 프린터, 고성능 홀로그램 현미경, 홀로그램 계측기 |
기술적 기대효과: 대면적 샘플의 고해상도 3D 비파괴 검사를 가능하게 하여, 기존에 관찰이 어려웠던 다양한 샘플 분석에 새로운 길을 제시합니다.
경제적 기대효과: 측정 시간 단축 및 장비 효율성 증대로 연구개발 및 품질관리 비용을 절감하고, 관련 산업의 기술 경쟁력을 강화합니다.
산업적 기대효과: 바이오, 반도체, 신소재 등 첨단 산업의 발전을 가속화하고, 새로운 응용 제품 시장 창출에 기여할 수 있습니다.
홀로그램 이미징 및 X선 현미경 관련 시장은 높은 성장 잠재력을 가지고 있습니다. 홀로그램 이미징 시장은 의료 교육 분야의 수요 증가에 힘입어 2018년부터 2024년까지 연평균 34% 이상 성장할 것으로 예상됩니다. (출처)
특히, 본 기술과 직접적으로 연관된 글로벌 X선 현미경 시장은 2023년 약 17억 달러 규모에서 2032년에는 32억 달러 이상으로 크게 성장할 것으로 전망됩니다. (출처)
시장은 기술 혁신을 통해 바이오 산업을 넘어 첨단 산업으로 확장하는 추세를 보이고 있습니다. Tomocube와 같은 기업들은 홀로토모그래피(HT) 기술을 기반으로 시장을 선도하고 있으며, 다양한 기술들이 시장 성장을 견인하고 있습니다.
주요 기술 동향 및 플레이어
기술 동향 | 설명 | 관련 플레이어/개념 |
|---|---|---|
3D 홀로토모그래피(HT) 기술 | 실시간, 비침습적 3D 관찰을 통해 3D 생물학 및 재생의학 시장의 성장을 견인 | Tomocube |
첨단 산업용 3D 비파괴 검사 | 반도체, 디스플레이 공정에서 고해상도 3D 비파괴 검사 기술에 대한 수요 증가 | Through Glass Via (TGV), Hybrid Bonding, CMP 웨이퍼 |
소프트웨어 및 AI 통합 | 이미지 해상도 향상, 3D 재구성 및 분석 등 복잡한 작업을 단순화하여 연구 효율성 증대 | 이미지 처리 소프트웨어, 인공지능 |
바이오 및 의료 산업의 패러다임 변화: 3D 생물학, 재생의학 분야에서 실시간, 비침습적 3D 관찰 기술에 대한 수요가 급증하며 핵심 성장 기회로 작용하고 있습니다.
첨단 산업 분야로의 확장: 반도체, 디스플레이 등 첨단 공정에서 3D 비파괴 고해상도 검사 기술의 필요성이 증가하며 새로운 시장을 창출하고 있습니다.
지속적인 기술 혁신: 나노미터급 해상도 달성, 실험실 기반 시스템의 발전, 소프트웨어 및 AI 통합 등은 연구 효율성을 크게 개선하며 시장 성장을 이끄는 주요 동인입니다.

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[기술 요약] 기존 X선 홀로그래피 현미경은 대면적 샘플 측정 시 거리 제약으로 인해 조사 면적이 넓어져 분해능이 저하되고 노출 시간이 길어지는 문제가 있었습니다. 본 기술은 샘플의 자기상관 신호를 제거하여 레퍼런스와 샘플 사이의 거리 제약을 없애는 방식으로 이 문제를 해결합니다. 레퍼런스가 없거나 폐쇄된 상태의 홀로그램 이미지와 레퍼런스가 노출된 상태의 홀로그램 이미지를 각각 획득한 뒤, 이 두 이미지를 퓨리에 변환하여 비교하고 그 차이를 통해 숨겨진 샘플 이미지를 복원합니다. 이 방법을 통해 샘플과 레퍼런스 간 거리를 획기적으로 단축하여 대면적 샘플도 효율적으로 측정할 수 있습니다. 또한, 기존 대비 노출 시간을 크게 줄여 측정 비용 절감 및 샘플 손상 방지에 기여합니다.
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