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기존 엑스선 회절 이미징 기술은 약한 광원 사용 시 노이즈, 디텍터 성능 제한, 장시간 노출로 인한 샘플 열적 변형 및 이미지 왜곡 문제가 있었습니다. 본 기술은 엑스선 광의 위상을 변화시켜 광의 진행 방향을 광축 외각으로 분산시키는 위상 조절부를 도입합니다. 복수개의 경사진 위상 조절기를 통해 회절 무늬를 넓은 영역에 퍼뜨리고, 위상 복구 알고리즘으로 이미지를 복원하여 공간 분해능을 획기적으로 높입니다. 이로써 광원의 세기를 증가시키지 않고도 선명하고 정밀한 고해상도 현미경 이미지를 얻을 수 있으며, 약한 광원 사용 시 발생할 수 있는 샘플 손상 및 이미지 왜곡을 방지합니다.
| 기술 분야 | 엑스선 회절 현미경 |
| 판매 유형 |
| 자체 판매 |
| 판매 상태 | 판매 중 |
| 기술명 | |
| 위상 조절을 통한 엑스선 회절 현미경 장치 및 엑스선 회절 방법 | |
| 기관명 | |
| 기초과학연구원, 광주과학기술원 | |
| 대표 연구자 | 공동연구자 |
| 이경환 | - |
| 출원번호 | 등록번호 |
| 1020150012703 | 1016138840000 |
| 권리구분 | 출원일 |
| 특허 | 2015.01.27 |
| 중요 키워드 | |
열적 변형 방지이미징 기술광원부검출부샘플 이미지비파괴 검사 | |
| 출원번호 | 출원일 |
| 2015009836 | 2015.09.18 |
| 종류코드 | |
| A1 | |
| 외부 링크 | |
기존의 결맞는 엑스선 회절 이미징법(XCDI)은 높은 분해능을 얻을 수 있는 장점이 있지만, 시스템 노이즈, 디텍터 성능, 특히 광량 부족으로 인해 공간 분해능 향상에 한계가 있었습니다.
공간 분해능을 n배 향상시키기 위해 필요한 광원의 세기는 n의 4제곱에 비례하여 증가해야 하므로, 세기가 약한 엑스선 광원으로는 높은 분해능을 기대하기 어려웠습니다.
약한 광량을 보완하기 위해 노출 시간을 늘리면, 샘플이 열에 의해 변형되거나 원치 않는 이미 왜곡이 발생하는 문제점이 있었습니다.
기존 기술들은 위상 조절을 통해 회절된 빛을 효과적으로 분산시켜 공간 분해능을 직접적으로 향상시키는 구성이 부족했습니다.
따라서 엑스선 광원의 세기를 증가시키지 않으면서도 XCDI가 가지는 공간 분해능을 획기적으로 향상시킬 수 있는 새로운 방식의 엑스선 회절 현미경 장치 개발이 시급한 상황입니다.
본 발명은 샘플을 통과한 엑스선 광의 위상을 인위적으로 변화시켜, 빛의 진행 방향을 광축 중심이 아닌 외각으로 분산시키는 것이 핵심 원리입니다.
이는 푸리에 변환 시프트 정리를 이용한 것으로, 위상에 변화를 주면 푸리에 변환(회절)된 공간에서 회절 무늬가 특정 거리만큼 이동(시프트)하게 됩니다.
이렇게 광축 외각으로 분산된 광이 샘플의 원래 회절 무늬와 간섭을 일으켜 전체 회절 무늬의 면적을 넓히고 선명도를 높여 결과적으로 더 높은 공간 분해능을 얻을 수 있게 됩니다.
광원부가 결맞는(coherent) 엑스선 광을 발생시킵니다.
샘플부에 위치한 샘플이 엑스선 광을 인가받아 고유한 파형으로 회절시킵니다.
위상 조절부는 윗면이 경사진 여러 개의 '위상 조절기'를 통해 엑스선 광의 위상을 변화시켜 광의 진행 방향을 분산시킵니다. 이 위상 조절기는 투명한 질화 실리콘 재질의 '위상 조절판'에 장착됩니다.
검출부(엑스선 CCD)가 분산 및 간섭된 최종 회절광을 검출합니다.
복원부는 검출된 신호를 '위상 복구 알고리즘'으로 분석하여 샘플의 이미지를 복원하고 확대하여 디스플레이합니다.

공간 분해능 향상: 세기가 약한 엑스선 광원을 사용하더라도 현미경의 공간 분해능을 획기적으로 증가시킬 수 있습니다.
샘플 손상 방지: 장시간 노출이 필요 없어 샘플의 열적 변형이나 원치 않는 이미지 왜곡을 방지할 수 있습니다.
분해능 제어 가능: 위상 조절기의 기울기를 조절하여 분산되는 거리와 회절 무늬 면적을 변화시킴으로써, 필요에 따라 공간 분해능을 능동적으로 제어할 수 있습니다.
본 실험은 제안된 위상 조절 방법이 실제로 엑스선 회절 현미경의 공간 분해능과 이미지 선명도를 향상시키는지 시뮬레이션을 통해 검증하는 것을 목적으로 합니다.
위상 조절기의 기울기를 '0'으로 설정하여 위상 변화가 없는 경우(대조군)의 회절 무늬를 측정합니다.
위상 조절기의 기울기를 다양하게 조절하여 위상 변화를 적용한 경우(실험군)의 회절 무늬를 측정합니다.
각각의 회절 무늬로부터 위상 복구 알고리즘을 사용하여 샘플 이미지를 복원합니다.
두 경우의 공간 분해능과 이미지 선명도를 정량적으로 비교 분석합니다.
시뮬레이션 결과, 위상 조절을 적용하지 않은 경우 회절 무늬가 좁게 형성되고 복원된 이미지의 선명도가 낮았습니다. 반면, 위상 조절을 적용한 경우에는 회절 무늬가 광축 중심에서 넓게 형성되었으며, 이를 통해 복원된 이미지는 공간 분해능이 약 2배 향상되고 선명도가 크게 개선된 것을 확인했습니다.
구분 | 회절 무늬 | 공간 분해능 | 복원 이미지 선명도 |
|---|---|---|---|
위상 조절 미적용 | 좁게 형성 | 낮음 | 낮음 |
위상 조절 적용 | 넓게 형성 | 높음 (약 2배 향상) | 높음 |
아래 그래프는 푸리에 변환 시프트 거리에 따른 회절 무늬의 세기를 보여줍니다. 위상 조절을 적용했을 때(b)가 적용하지 않았을 때(a)에 비해 전반적으로 훨씬 높은 세기를 유지하며, 특히 시프트 거리가 멀어져도 세기가 급격히 감소하지 않아 넓은 영역의 회절 무늬 정보를 획득할 수 있음을 나타냅니다.
나노과학 및 재료공학: 신소재, 반도체, 나노 입자의 미세 구조 및 결함을 원자 수준에서 분석하는 데 활용될 수 있습니다.
생명과학 및 의학: 단백질, 바이러스, 세포 소기관 등의 3차원 구조를 고해상도로 이미징하여 생명 현상을 규명하는 데 기여할 수 있습니다.
실험실 규모 장비 고도화: 대형 방사광 가속기뿐만 아니라 일반 실험실에 설치된 저출력 엑스선 광원에서도 고해상도 분석을 가능하게 합니다.
기술 접근성 향상: 고가의 고출력 엑스선 장비 없이도 고해상도 분석이 가능해져 관련 연구의 저변을 확대하고 비용을 절감하는 효과가 있습니다.
새로운 과학적 발견 촉진: 기존 방법으로는 관찰하기 어려웠던 미세 영역에 대한 정밀 분석을 통해 다양한 과학 및 산업 분야에서 새로운 발견과 기술 혁신을 촉진할 수 있습니다.
분석 신뢰도 증대: 엑스선에 의한 샘플 손상을 최소화하여 살아있는 세포나 손상에 민감한 물질을 원래 상태에 가깝게 관찰함으로써 분석 결과의 신뢰도를 높일 수 있습니다.

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[기술 요약] 기존 엑스선 회절 이미징 기술은 약한 광원 사용 시 노이즈, 디텍터 성능 제한, 장시간 노출로 인한 샘플 열적 변형 및 이미지 왜곡 문제가 있었습니다. 본 기술은 엑스선 광의 위상을 변화시켜 광의 진행 방향을 광축 외각으로 분산시키는 위상 조절부를 도입합니다. 복수개의 경사진 위상 조절기를 통해 회절 무늬를 넓은 영역에 퍼뜨리고, 위상 복구 알고리즘으로 이미지를 복원하여 공간 분해능을 획기적으로 높입니다. 이로써 광원의 세기를 증가시키지 않고도 선명하고 정밀한 고해상도 현미경 이미지를 얻을 수 있으며, 약한 광원 사용 시 발생할 수 있는 샘플 손상 및 이미지 왜곡을 방지합니다.
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