AI요약

고진공 환경에서 가속기의 성능을 저하시키는 가속관의 위치 변형은 정밀한 측정이 어려웠습니다. 기존 접촉식 방법은 진공 용기 변형에 따른 신뢰도 문제나 고온/유해 환경에서의 제한이 있었습니다. 본 기술은 비접촉식 광학 방식을 이용한 정밀정렬장치(MAT)를 활용하여 고진공 용기 내부의 가속관 변위를 정밀하게 측정하고 보정하는 시스템 및 방법입니다. 광원을 통해 형성된 광축을 기준으로 정렬된 시스템은 가속관 표면의 기준자 변위를 마이크로미터 단위로 정확히 측정하며 보정값을 산출합니다. 이를 통해 가속관의 성능을 최적으로 유지할 수 있으며, 고온이나 유해 물질이 충진된 극한의 진공 환경에서도 안정적이고 신뢰성 높은 측정이 가능하여 가속기 운영 효율성을 크게 향상시킬 수 있습니다.