정밀정렬장치를 이용한 고진공 용기 내부의 가속관 변위 측정 시스템 및 방법

[특허 요약] 본 발명은 정밀정렬장치를 이용한 고진공 용기 내부의 가속관 변위 측정 시스템 및 방법을 개시한다. 본 발명의 변위 측정 시스템은 내부가 진공 상태로 형성가능한 진공 용기; 상기 진공 용기 내부에 위치되는 중공형의 가속관; 상기 가속관 표면상에 부착되어 돌출형성된 기준자; 상기 진공 용기 일측면에 소정의 거리로 이격되어 위치하는 정밀정렬장치; 상기 정밀정렬장치 및 상기 진공 용기 사이에 배치되는 제 1 렌즈장치; 및 상기 진공 용기 타측에 소정의 거리로 이격되어 위치하는 제 2 렌즈장치를 포함하고, 상기 진공 용기는 각 일측면 및 타측면 상에 서로 대응되게 위치하는 제 1 및 제 2 뷰포트를 구비하며, 상기 정밀정렬장치, 상기 제 1 렌즈장치, 상기 제 1 뷰포트, 상기 기준자, 상기 제 2 뷰포트 및 상기 제 2 렌즈장치는 일방향의 동일한 축선상에 정렬되는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 비접촉식 광학방식을 이용한 정밀정렬장치를 고진공환경에서 운용함으로써 기존 접촉식 측정방식의 단점을 해결할 수 있으며, 진공 용기 내부에 설치되는 가속관의 위치를 정밀하게 측정하여 보정함으로써 가속관의 성능을 향상시킬 수 있다.

특허 등록번호

20170070926

특허 출원번호

1020150178387

출원일

2015.12.14

등록일

2017.06.23

국가

대한민국

출원인

기초과학연구원

발명자

이민기, 김영권, 김우강, 김희태, 최종완, 조용우

중요 키워드

viewport, lens, vacuum, vacuum container, precision alignment