AI요약

액상 시료를 전자현미경으로 관찰할 때, 진공 환경에서의 증발과 이미지 선명도 저하가 큰 문제로 지적되어 왔습니다. 기존 동결 방식은 시료 본연의 특성 평가에 한계가 있었습니다. 본 발명은 이러한 난제를 해결하는 혁신적인 액상 시료 관찰 방법을 제시합니다. 본 기술은 전자빔을 투과하는 하부 및 상부 막과 나노포어(nanopore)가 형성된 다공성 중간판을 사용하여 액상 시료를 효과적으로 밀봉합니다. 특히, 결합력 제공체를 활용하여 막과 중간판을 반데르발스 힘으로 견고하게 결합시켜 진공 환경에서도 액상 시료의 유실 없이 안정적으로 유지 및 보존할 수 있습니다. 이를 통해 시료의 변형 없이 초고해상도의 선명한 이미지를 획득할 수 있으며, 이미지 분석의 용이성을 극대화합니다. 나아가, 다공성 중간판 재료로 양극 산화 알루미늄(AAO), SiNx, Si 등을 활용하여 시료의 물성(친수성/소수성)에 따라 최적화된 관찰 환경을 제공합니다. 이 기술은 생물학, 재료과학 등 다양한 분야에서 액상 시료 연구의 정밀도를 한 단계 높이는 데 기여할 것입니다.