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[기술 요약] 액상 시료를 전자현미경으로 관찰할 때, 진공 환경에서의 증발과 이미지 선명도 저하가 큰 문제로 지적되어 왔습니다. 기존 동결 방식은 시료 본연의 특성 평가에 한계가 있었습니다. 본 발명은 이러한 난제를 해결하는 혁신적인 액상 시료 관찰 방법을 제시합니다. 본 기술은 전자빔을 투과하는 하부 및 상부 막과 나노포어(nanopore)가 형성된 다공성 중간판을 사용하여 액상 시료를 효과적으로 밀봉합니다. 특히, 결합력 제공체를 활용하여 막과 중간판을 반데르발스 힘으로 견고하게 결합시켜 진공 환경에서도 액상 시료의 유실 없이 안정적으로 유지 및 보존할 수 있습니다. 이를 통해 시료의 변형 없이 초고해상도의 선명한 이미지를 획득할 수 있으며, 이미지 분석의 용이성을 극대화합니다. 나아가, 다공성 중간판 재료로 양극 산화 알루미늄(AAO), SiNx, Si 등을 활용하여 시료의 물성(친수성/소수성)에 따라 최적화된 관찰 환경을 제공합니다. 이 기술은 생물학, 재료과학 등 다양한 분야에서 액상 시료 연구의 정밀도를 한 단계 높이는 데 기여할 것입니다.

액상 시료를 전자현미경으로 관찰할 때, 진공 환경에서의 증발과 이미지 선명도 저하가 큰 문제로 지적되어 왔습니다. 기존 동결 방식은 시료 본연의 특성 평가에 한계가 있었습니다. 본 발명은 이러한 난제를 해결하는 혁신적인 액상 시료 관찰 방법을 제시합니다. 본 기술은 전자빔을 투과하는 하부 및 상부 막과 나노포어(nanopore)가 형성된 다공성 중간판을 사용하여 액상 시료를 효과적으로 밀봉합니다. 특히, 결합력 제공체를 활용하여 막과 중간판을 반데르발스 힘으로 견고하게 결합시켜 진공 환경에서도 액상 시료의 유실 없이 안정적으로 유지 및 보존할 수 있습니다. 이를 통해 시료의 변형 없이 초고해상도의 선명한 이미지를 획득할 수 있으며, 이미지 분석의 용이성을 극대화합니다. 나아가, 다공성 중간판 재료로 양극 산화 알루미늄(AAO), SiNx, Si 등을 활용하여 시료의 물성(친수성/소수성)에 따라 최적화된 관찰 환경을 제공합니다. 이 기술은 생물학, 재료과학 등 다양한 분야에서 액상 시료 연구의 정밀도를 한 단계 높이는 데 기여할 것입니다.
| 기술 분야 | 전자현미경 시료 분석 |
| 판매 유형 | 자체 판매 |
| 판매 상태 | 판매 중 |
| 기술명 | |
| 전자현미경을 이용한 액상 시료 관찰 방법 | |
| 기관명 | |
| 한양대학교 에리카산학협력단, 서울대학교산학협력단, 기초과학연구원 | |
| 대표 연구자 | 공동연구자 |
| 박정원 | - |
| 출원번호 | 등록번호 |
| 1020190040875 | 1021999000000 |
| 권리구분 | 출원일 |
| 특허 | 2019.04.08 |
| 중요 키워드 | |
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전자현미경은 진공 환경을 요구하기 때문에 수분을 함유한 액상 시료를 직접 관찰하기 어렵습니다.
기존의 시료 동결 방식은 시료 본연의 특성을 평가할 수 없는 한계가 있습니다.
액상 시료를 밀봉하는 경우, 선명한 이미지를 얻기 어려워 초고해상도 관찰에 어려움이 있었습니다.
진공 환경에서도 액상 시료를 안정적으로 유지 및 보존하면서 그 자체의 특성을 관찰할 수 있는 새로운 기술이 필요합니다.
전자빔 투과 현미경을 이용하여 액상 시료를 초고해상도로 관찰할 수 있는 혁신적인 방법론 개발이 시급합니다.
본 발명은 액상 시료를 2차원 물질로 이루어진 상부 및 하부 막으로 밀봉하여 전자현미경의 진공 환경 내에서 액체의 증발을 막고, 시료 본연의 상태를 관찰하는 것을 핵심 원리로 합니다.
상/하부 막: 전자빔은 투과시키지만 액상 시료는 차단하는 그래핀과 같은 2차원 물질을 사용합니다.
다공성 중간판: 규칙적인 나노포어(nanopore)가 형성된 판으로, 액상 시료를 담는 역할을 합니다.
결합 방식: 결합력 제공체(예: 증류수)를 도포 후 휘발시켜 발생하는 반데르발스 힘(Van der Waals force)을 이용하여 하부 막과 다공성 중간판을 강력하게 결합시킵니다.
하부 막 준비: 전자빔을 투과하는 그래핀 등 2차원 물질로 하부 막을 준비합니다.
다공성 중간판 준비: 나노포어가 형성된 다공성 중간판(예: 양극 산화 알루미늄)을 준비합니다.
결합: 하부 막과 다공성 중간판 사이에 결합력 제공체를 도포하고 휘발시켜 반데르발스 힘으로 결합합니다.
시료 주입: 결합된 구조의 나노포어에 관찰하고자 하는 액상 시료를 주입합니다.
밀봉: 다공성 중간판 위에 상부 막을 적층하여 액상 시료를 완전히 밀봉합니다.
관찰: 완성된 시료 셀을 전자빔 투과 현미경을 이용하여 진공 환경에서 관찰합니다.

선명한 이미지 획득: 액상 시료를 안정적으로 보존하여 초고해상도의 선명한 이미지를 얻을 수 있습니다.
용이한 이미지 분석: 규칙적으로 배열된 나노포어를 사용하여 획득한 이미지의 분석이 용이합니다.
높은 경제성: 대면적 제작이 가능하고 액상 시료의 수용 수율이 높아 단시간 내 많은 시료를 관찰할 수 있습니다.
재료 선택의 유연성: 시료의 물성(친수성/소수성)에 따라 다공성 중간판의 재료(AAO, Si, SiNx 등)를 선택하여 최적의 관찰 환경을 제공할 수 있습니다.
본 발명에서 제안하는 전자현미경을 이용한 액상 시료 관찰 방법의 실제 구현 가능성과 성능을 검증하는 것을 목적으로 합니다. 특히, 다공성 중간판의 제작, 2차원 물질 막과의 결합, 진공 환경에서의 액상 시료 보존 능력 등을 실험적으로 확인하고자 하였습니다.
다공성 중간판의 나노포어 구조를 투과전자현미경(TEM)으로 관찰하여 규칙성과 균일성을 평가했습니다.
그래핀으로 이루어진 하부 막과 다공성 중간판을 결합시킨 후, TEM 및 고속 푸리에 변환(FFT) 분석을 통해 결합 상태와 그래핀의 결정 구조를 확인했습니다.
밀봉된 셀 내부 나노포어에 담긴 액상 시료의 움직임을 시간 경과에 따라 TEM으로 관찰하여 시료의 안정적인 유지 여부를 검증했습니다.
제조 공정 중 베이스층 제거를 위한 통로 형성 결과를 주사전자현미경(SEM)으로 확인했습니다.
실험 결과, 제안된 방법을 통해 액상 시료를 안정적으로 유지하며 선명한 이미지를 얻을 수 있음을 확인했습니다. 주요 실험 결과는 아래 표와 같습니다.
전자현미경 액상 시료 관찰법의 주요 실험 결과 요약
실험 내용 | 주요 결과 | 관련 데이터 |
|---|---|---|
다공성 중간판 구조 확인 | 지름 및 높이가 균일한 나노포어가 규칙적으로 분포된 것을 확인하여 이미지 분석의 용이성 확보 | TEM 이미지 (도 11) |
하부 막과의 결합 검증 | 다공성 중간판과 그래핀 하부 막이 성공적으로 결합되었음을 전자빔 회절 패턴(육각 패턴)을 통해 확인 | TEM/FFT 이미지 (도 12a, 12b) |
액상 시료 유지/보존 성능 평가 | 나노포어 내 액상 시료가 시간이 지나도 안정적으로 유지 및 유동하는 것을 관찰하여 진공 환경에서의 시료 보존 능력 입증 | 시간 경과에 따른 TEM 이미지 (도 13) |
Si 기반 다공성 중간판 성능 검증 | Si를 이용한 다공성 중간판 역시 규칙적인 나노포어 구조를 가지며 그래핀 하부 막과 성공적으로 결합됨을 확인 | TEM/FFT 이미지 (도 14a, 14b) |
베이스층 제거 공정 확인 | 희생층 제거를 위한 통로가 효과적으로 형성되어 식각 용액 침투 및 베이스층 제거가 용이함을 확인 | SEM 이미지 (도 15) |
생명 과학: 세포, 단백질, 바이러스 등 생물학적 시료를 자연 상태 그대로의 액상 환경에서 관찰하여 구조와 동적 상호작용을 연구할 수 있습니다.
재료 공학: 배터리 전해액 내에서의 이온 이동, 나노 입자의 합성 및 성장 과정을 실시간으로 분석하는 데 활용될 수 있습니다.
화학: 액상에서의 촉매 반응, 결정화 과정 등 다양한 화학 반응을 나노 스케일에서 직접 시각화하여 메커니즘을 규명할 수 있습니다.
기초 과학 발전 기여: 기존에 불가능했던 액상 환경에서의 나노 현상 관찰을 가능하게 하여, 다양한 기초 과학 분야의 난제 해결에 기여할 수 있습니다.
신뢰성 높은 분석: 시료를 동결하거나 건조하지 않고 자연 상태 그대로 관찰함으로써, 보다 정확하고 신뢰성 높은 분석 결과를 제공합니다.
산업 경쟁력 강화: 반도체, 배터리, 신약 개발 등 첨단 산업 분야의 연구개발(R&D) 효율성을 극대화하여 국가 산업 경쟁력 강화에 이바지할 수 있습니다.
‘액상 투과전자현미경’ 기술 자체에 대한 특정 시장 동향이나 전망 자료는 확인되지 않았습니다. 관련 검색 결과는 주로 나노기술 전반의 시장 동향이나 다른 개별 기술을 다루고 있어, 본 기술에 특화된 시장 분석은 포함하고 있지 않았습니다. (출처: 구글 검색 결과 및 제공된 특허 문서)
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