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서지주요정보
Chemical-mechanical planarization of semiconductor materials
서명 / 저자
Chemical-mechanical planarization of semiconductor materials /
M.R. Oliver (ed.).
저자명
Oliver, M. R.
(Michael R.), 1943-
발행사항
Berlin ; New York :
Springer,
c2004.
총서명
Springer series in materials science ; v. 69
소장자료
등록번호
0000906
소장위치/청구기호
과학문화센터 / 621.38152 O481c
도서상태
배가중
반납예정일
예약
서지기타정보
서지기타정보
LCCN
2003059075
ISBN
9783540431817 :▼c$328.16 3540431810 (alk. paper)
청구기호
621.38152 O481c
형태사항
x, 425 p. : ill. ; 25 cm.
언어
English
서지주기
Includes bibliographical references.
주제
Semiconductors
--Materials.
Grinding and polishing.
Chemical mechanical planarization.
QR CODE
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Chemical-mechanical planarization of semiconductor materials
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