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기존의 투과 방식 나선형 위상 플레이트는 빔 분산, 에너지 손실, 왜곡 및 극초단 레이저 펄스 사용 시 자기위상변조로 인한 스펙트럼 확장 문제가 있었습니다. 이러한 문제점들은 빔 출력 감소와 성능 저하로 이어졌습니다. 본 발명은 이러한 한계를 극복하는 반사 방식의 나선형 위상 플레이트 및 이를 포함하는 라게르-가우시안 빔 생성 장치를 제공합니다. 이 혁신적인 기술은 입사 빔을 정교하게 반사하여 라게르-가우시안 빔을 생성하며, 기존 방식에서 발생하던 빔 왜곡 및 에너지 손실을 최소화합니다. 특히, 제작이 용이하고 대면적으로 제작 가능하여 고출력 레이저에도 안정적으로 활용될 수 있습니다. 위상별 빔 강도 불균형 문제까지 해결하여 균일하고 안정적인 빔 생성을 가능하게 합니다.
| 기술 분야 |
| 광학 빔 제어 |
| 판매 유형 | 자체 판매 |
| 판매 상태 | 판매 중 |
| 기술명 | |
| 반사 방식의 나선형 위상 플레이트 및 이를 포함하는 라게르-가우시안 빔 생성 장치 | |
| 기관명 | |
| 한국기초과학지원연구원, 기초과학연구원, 광주과학기술원 | |
| 대표 연구자 | 공동연구자 |
| 전천하 | - |
| 출원번호 | 등록번호 |
| 1020200113301 | 1025399430000 |
| 권리구분 | 출원일 |
| 특허 | 2020.09.04 |
| 중요 키워드 | |
레이저 응용반사 방식 나선형 위상 플레이트빔 생성 장치고출력 레이저위상 변환 기술초고속 레이저 | |

기존의 나선형 위상 플레이트(SPP)는 입력되는 빔을 도넛 형태의 라게르-가우시안 빔으로 변환하기 위해 투과 방식을 사용해왔습니다.
투과 방식은 빔이 소자를 통과할 때 발생하는 분산 효과와 에너지 손실로 인해 빔의 출력이 감소하거나 왜곡이 발생하는 문제점이 있었습니다.
특히 극초단 레이저 펄스 사용 시, 소자 내부에서 일어나는 비선형 현상으로 인해 레이저의 펄스폭이 길어지고 스펙트럼이 넓어지는 문제가 발생했습니다.
빔의 투과 과정에서 발생하는 다양한 부정적 영향을 근본적으로 제거할 수 있는 새로운 방식의 빔 변환 장치 및 방법의 필요성이 증대되고 있습니다.
고출력 레이저 시스템에서도 빔의 왜곡 없이 안정적으로 활용할 수 있는 고성능, 고효율의 나선형 위상 플레이트 기술이 요구됩니다.
본 기술은 입사 빔을 투과시키는 대신 반사시켜 도넛 형태의 라게르-가우시안 빔으로 변환하는 새로운 방식의 나선형 위상 플레이트입니다.
플레이트 표면은 방사상의 위치에 따라 단차가 변화하는 나선형 형상을 가지며, 이 구조가 빔의 위상을 변조하여 원하는 형태로 만듭니다.
특히 플레이트를 4개의 사분 영역으로 나누고, 각 영역의 단위 각도당 단차 증가율을 다르게 설계하여 입사 빔이 비스듬히 입사될 때 생기는 타원 형태를 보정하고, 결과적으로 균일한 강도 분포를 갖는 고품질의 빔을 생성합니다.
라게르-가우시안 빔 발생 장치는 입사 빔을 생성하는 빔 발생기, 입사 빔을 반사 및 변환하는 반사 방식의 나선형 위상 플레이트, 반사된 빔의 초점을 모으는 비축 포물 반사경 등으로 구성됩니다.
플레이트의 전체 단차(h)와 특정 위상 각도(φ)에서의 상대적인 높이(H)는 입사 빔의 파장(λ), 플레이트에 대한 입사 각도(θ), 위상 양자수(n) 등을 고려한 정밀한 수학식에 따라 설계됩니다.
단차의 변화는 방사상 각도에 따라 높이가 연속적으로 증가하는 형태 또는 여러 세그먼트로 나뉘어 계단형으로 불연속적으로 증가하는 형태로 구현될 수 있습니다.
빔 왜곡 최소화: 반사 방식을 통해 기존 투과 방식에서 발생하던 분산 효과, 에너지 손실, 레이저 펄스의 시간폭 및 스펙트럼 변화 문제를 해결하여 빔의 왜곡을 최소화합니다.
고출력 레이저 적용 가능: 제작이 용이하고 대면적 제작이 가능하여, 기존 기술로는 적용이 어려웠던 고출력 레이저 시스템에도 효과적으로 활용할 수 있습니다.
균일한 빔 품질: 입사각으로 인해 발생하는 타원형 빔 왜곡을 구조적으로 보정하여, 위상별로 균일한 강도를 갖는 고품질의 라게르-가우시안 빔을 생성합니다.
본 발명에 따른 설계 방식으로 제작된 반사 방식의 나선형 위상 플레이트가 기존 투과 방식의 주요 문제점인 '위상별 빔 강도 불균형' 문제를 실제로 해결할 수 있는지 실험을 통해 검증하는 것을 목적으로 합니다.
특허에 기술된 수학식에 기반하여, 단차 높이가 연속적으로 증가하도록 설계된 나선형 위상 플레이트를 제작합니다.
동일한 수학식에 기반하여, 단차 높이가 계단형으로 증가하도록 설계된 나선형 위상 플레이트를 제작합니다.
제작된 두 종류의 플레이트 각각에 입사 빔을 조사하고, 반사된 라게르-가우시안 빔의 강도 분포 및 균일성을 측정하고 분석합니다.
실험에 사용된 두 가지 주요 설계 방식의 특징은 아래 표와 같습니다. 실제 실험 결과, 두 방식 모두 위상별 빔 강도가 불균형하게 형성되는 문제를 효과적으로 해결하여 균일한 품질의 빔을 생성할 수 있음을 확인하였습니다.
설계 방식 | 단차 변화 특징 | 관련 도면 |
|---|---|---|
연속 증가형 | 방사상 각도에 따라 단차 높이가 연속적으로 증가함 | 도 11, 도 13(좌) |
계단형 증가형 | 방사상 각도에 따라 단차 높이가 계단 형태로 불연속적으로 증가함 | 도 12, 도 13(우) |
고출력 레이저 가공: 정밀 절단, 용접, 마킹 등 높은 출력과 고품질의 빔이 요구되는 다양한 산업 분야에 적용할 수 있습니다.
의료 분야: 최소 침습 수술, 안과 수술(백내장 등), 의료용 스텐트 절단 및 임플란트 표면 텍스처링 등 정밀한 의료 시술에 활용될 수 있습니다.
첨단 광학 연구: 3D 메타물질, 최소 광자 소자 등 나노스케일 광학 장치의 제작 및 차세대 광학 기술 연구에 기여할 수 있습니다.
국방 및 센싱: 지향성 에너지 무기(DEM), 자율주행차의 핵심 부품인 라이다(LiDAR), 3D 센싱 등 국방 및 첨단 센서 기술에 적용 가능합니다.
기술 경쟁력 확보: 기존 투과형 소자의 한계를 극복한 원천 기술 확보를 통해 차세대 레이저 응용 시장을 선점할 수 있습니다.
산업 생산성 향상: 고품질, 고출력 빔을 통해 반도체, 디스플레이, 정밀 기계 등 다양한 산업 분야의 정밀 가공 효율과 품질을 획기적으로 증대시킬 수 있습니다.
신규 시장 창출: AR/VR, 바이오포토닉스, 마이크로 LED 등 신기술 분야와 융합하여 새로운 고부가가치 응용 시장을 창출할 잠재력을 가집니다.
본 기술이 직접적으로 속하는 '나선형 위상 플레이트'에 대한 구체적인 시장 데이터는 없으나, 핵심 응용 분야인 글로벌 레이저 가공 시장은 2025년 81억 7천만 달러에서 2030년 122억 6천만 달러로 성장할 것으로 예상되며, 연평균 성장률(CAGR)은 8.46%에 달할 전망입니다. (출처: Mordor Intelligence).
전기차 시장 확대: 전기차 배터리 용접 등 정밀 구리 가공에 대한 수요가 증가하며 고품질 레이저 기술의 필요성이 커지고 있습니다.
반도체 산업 투자: 각국 정부의 반도체 제조 시설 투자와 인센티브 확대로 인해 레이저 어닐링, 웨이퍼 다이싱 등 관련 공정의 수요가 증대되고 있습니다.
의료기기 고도화: 최소 침습 의료기기에 대한 수요가 늘면서, 스텐트 절단 및 임플란트 텍스처링과 같은 정밀 가공에 초고속 레이저 적용이 확대되고 있습니다.
첨단 산업 분야 성장: 고용량 태양전지, AR/VR/MR, 마이크로 LED, 자율주행(LiDAR) 등 첨단 산업의 성장이 특수 빔을 활용하는 본 기술의 새로운 기회 요인으로 작용합니다.
레이저 가공 시장은 기술 유형, 공정, 응용 분야별로 뚜렷한 성장 동력을 보이고 있으며, 특히 본 기술과 연관성이 높은 초고속 레이저 및 정밀 가공 분야의 성장이 두드러집니다.
세그먼트 | 주요 내용 | 성장률/점유율 |
|---|---|---|
레이저 유형 | 섬유 레이저가 소형 디자인과 낮은 유지보수 비용으로 시장 주도 | 2024년 48% 점유율, 초고속 레이저 CAGR 10.7% |
공정 유형 | 절단이 지배적, 의료/자동차 분야 추적성 요구로 마킹/각인 급성장 | 절단 35.2% 점유율, 마킹/각인 CAGR 9.2% |
응용 분야 | 재료 거시 가공이 대부분 차지, 항공우주 부품 경량화로 적층 제조 급성장 | 거시 가공 55% 점유율, 적층 제조 CAGR 10.2% |
최종 사용 산업 | 자동차가 가장 큰 비중, 의료 기기 및 헬스케어 분야 가장 빠른 성장 | 자동차 28.5% 점유율, 의료/헬스케어 CAGR 11.4% |

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[기술 요약] 기존의 투과 방식 나선형 위상 플레이트는 빔 분산, 에너지 손실, 왜곡 및 극초단 레이저 펄스 사용 시 자기위상변조로 인한 스펙트럼 확장 문제가 있었습니다. 이러한 문제점들은 빔 출력 감소와 성능 저하로 이어졌습니다. 본 발명은 이러한 한계를 극복하는 반사 방식의 나선형 위상 플레이트 및 이를 포함하는 라게르-가우시안 빔 생성 장치를 제공합니다. 이 혁신적인 기술은 입사 빔을 정교하게 반사하여 라게르-가우시안 빔을 생성하며, 기존 방식에서 발생하던 빔 왜곡 및 에너지 손실을 최소화합니다. 특히, 제작이 용이하고 대면적으로 제작 가능하여 고출력 레이저에도 안정적으로 활용될 수 있습니다. 위상별 빔 강도 불균형 문제까지 해결하여 균일하고 안정적인 빔 생성을 가능하게 합니다.
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