[특허 요약] 본 발명은 3차원 핫전자 에너지 소자 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 나노튜브; 및 상기 나노튜브 상에 증착되는 금속 박막층;을 포함하는 3차원 핫전자 에너지 소자 및 3차원 핫전자 에너지 소자 제조 방법을 제공한다. 본 발명에 따른 3차원 핫전자 에너지 소자는 금속 박막층이 3차원의 나노튜브 표면을 따라 3차원적으로 분포하게 됨으로써 1차원이나 2차원 구조에 비해 확대된 활성 영역을 갖고, 이에 따라 표면 플라즈몬 공명(SPR)에 의한 높은 광흡수율에 의해 많은 핫전자가 생성될 수 있게 되어, 빛 에너지를 전기 에너지로 전환함에 있어 우수한 에너지 변환 효율을 가질 수 있다.

등록번호

20190067625

출원번호

1020170167751

출원인

기초과학연구원, 한국과학기술원

키워드

electrode, nanotube, thin film, tio, film layer