[특허 요약] 샘플 고정용 장치 및 그 제조 방법이 제공된다. 상기 샘플 고정용 장치는, 윈도우 홀을 갖는 기판, 상기 기판 위에 배치되고, 샘플 고정 홀을 갖는 제1 패턴, 및 상기 윈도우 홀 내 상기 제1 패턴 아래에 배치되는 윈도우 층을 포함하고, 상기 샘플 고정 홀은 상기 윈도우 층 위에 배치된다. 상기 샘플 고정용 장치의 제조 방법은, 제1 면과 제2 면을 갖는 기판을 준비하는 단계, 상기 제1 면에 제1 층을 형성하고, 상기 제2 면에 제2 층을 형성하는 단계, 상기 제2 층을 패터닝하여 제2 패턴을 형성하는 단계, 상기 제2 패턴을 에칭 마스크로 사용하여 상기 기판을 에칭하여 상기 제1 층을 노출하는 윈도우 홀을 형성하는 단계, 상기 제1 층을 패터닝하여 샘플 고정 홀을 갖는 제1 패턴을 형성하는 단계, 상기 윈도우 홀 내에 상기 제1 패턴과 접촉하는 윈도우 층을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 샘플 고정 홀은 상기 윈도우 홀에 대응하는 위치에 형성된다.

등록번호

20230019749

출원번호

1020210101665

출원인

서울대학교산학협력단, 기초과학연구원

키워드

sample, layer, pattern, fixing, hole