[특허 요약] 본 발명은 수차를 야기하는 샘플 내의 타겟 오브젝트를 이미징하기 위한 초점 스캔 방식의 이미징 장치에 관한 것으로, 빔을 조사하는 광원부와, 상기 광원부로부터 조사된 빔을 샘플파와 참조파로 분할하고, 상기 샘플파가 상기 샘플로부터 반사된 반사파와 상기 참조파 간의 간섭파를 형성하는 광학 간섭계와, 상기 간섭파를 촬영하는 카메라 모듈과, 상기 광학 간섭계의 상기 샘플파의 광 경로 상에 배치되어, 상기 샘플파가 상기 샘플을 스캔하도록 상기 샘플파를 반사시키는 스캐닝 미러와, 상기 광학 간섭계의 상기 샘플파의 광 경로 상에 배치되는 파면 형상 변조기와, 샘플 야기 수차의 보정을 위한 수차 보정 위상 맵을 산출하는 위상 맵 산출 모드와, 상기 수차 보정 위상 맵이 상기 파면 형상 변조기에 표시되어 상기 샘플 야기 수차가 보정된 상태로 상기 타겟 오브젝트를 이미징하는 이미징 모드로 동작하는 이미징 제어부를 포함하며; 상기 이미징 제어부는 상기 위상 맵 산출 모드에서 상기 파면 형상 변조기가 미러로 동작하도록 제어하고, CLASS 알고리즘을 기반으로 상기 수차 보정 위상 맵을 산출하는 것을 특징으로 한다.

등록번호

20210051683

출원번호

1020190137258

출원인

고려대학교 산학협력단, 기초과학연구원

키워드

sample, wave, aberration, imaging, time