[특허 요약] 가스 타겟의 일단부에 슬라이딩 이동가능한 삽입부가 밀도분포형성부 내부에 배치되어 가스 밀도단면이 균일하게 유지되는 동시에 가스 밀도단면으로 나타내어지는 가스 타겟의 유효 길이를 용이하게 조절할 수 있는, 길이조절이 가능한 가스 타겟에 관한 것으로, 길이가 조절가능한 공간인 밀도분포형성부를 포함하며, 밀도분포형성부의 길이에 따라 밀도분포형성부 내에 수용되는 가스의 밀도단면의 길이가 조절되는 것을 특징으로 하는 가스 타겟이 제공된다.

등록번호

20180076912

출원번호

1020160181599

출원인

기초과학연구원, 광주과학기술원

키워드

gas, density distribution, distribution forming, slit nozzle, length