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| 특허 상태 | 등록 |
| 출원인 | 기초과학연구원 |
| 발명자 | 우형주, 김기동, 권영관 |
| 출원번호 | 1020150142557 |
| 출원일 | 2015.10.13 |
| 등록번호 | 101691912B |
| 등록일 | 2017.01.03 |
| 중요 키워드 | secondary electronelectrodeshort |
전위확장전극선이 보강된 이차전자억제전극 및 이를 사용한 짧은 파라데이컵이 개시된다. 개시된 이차전자억제전극 및 이를 사용한 짧은 파라데이컵은 이온빔이 내부로 입사되도록 일측에 개방공이 형성되고, 외부의 전기장 차폐역할을 하는 차폐하우징; 차폐하우징 내부에 배치되며, 이온빔을 이루는 하전입자가 충돌되는 전하포집기; 개방공과 전하포집기 사이에 배치되며, 하전입자가 전하포집기에 충돌된 이후, 전하포집기의 표면에서 외부로 방출되는 이차 전자들이 전하포집기로 되돌아가도록 음전압이 인가되는 이차전자 억제전극; 이차 전자 억제전극에 연결된 복수 개의 전위확장전극선을 포함한다.
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전위확장전극선이 보강된 이차전자억제전극 및 이를 사용한 짧은 파라데이컵
[특허 요약] 전위확장전극선이 보강된 이차전자억제전극 및 이를 사용한 짧은 파라데이컵이 개시된다. 개시된 이차전자억제전극 및 이를 사용한 짧은 파라데이컵은 이온빔이 내부로 입사되도록 일측에 개방공이 형성되고, 외부의 전기장 차폐역할을 하는 차폐하우징; 차폐하우징 내부에 배치되며, 이온빔을 이루는 하전입자가 충돌되는 전하포집기; 개방공과 전하포집기 사이에 배치되며, 하전입자가 전하포집기에 충돌된 이후, 전하포집기의 표면에서 외부로 방출되는 이차 전자들이 전하포집기로 되돌아가도록 음전압이 인가되는 이차전자 억제전극; 이차 전자 억제전극에 연결된 복수 개의 전위확장전극선을 포함한다.
