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[특허 요약] 본 발명의 예시적 실시예에 따른 시편 검사기는, 시편이 고정되는 스터드; 상기 스터드와 대향하는 위치에 배치되며, 상기 시편을 검사하는 팁; 상기 스터드와 팁 사이에 배치되며, 상기 팁에 대해 팁 처리를 수행하기 위한 타겟을 구비하는 스테이지; 및 상기 스테이지를 회전 이동시키는 구동부;를 포함할 수 있다. 상기 스테이지는 회전 이동을 통해 상기 팁 상부에 상기 타겟을 선택적으로 위치시킬 수 있다.
| 특허 상태 | 등록 |
| 출원인 | 서울대학교산학협력단, 기초과학연구원 |
| 발명자 | 이진호, 주상현 |
| 출원번호 | 1020170073291 |
| 출원일 | 2017.06.12 |
| 등록번호 | 101918758B |
| 등록일 | 2018.11.16 |
| 중요 키워드 | tipstagespecimen |
본 발명의 예시적 실시예에 따른 시편 검사기는, 시편이 고정되는 스터드; 상기 스터드와 대향하는 위치에 배치되며, 상기 시편을 검사하는 팁; 상기 스터드와 팁 사이에 배치되며, 상기 팁에 대해 팁 처리를 수행하기 위한 타겟을 구비하는 스테이지; 및 상기 스테이지를 회전 이동시키는 구동부;를 포함할 수 있다. 상기 스테이지는 회전 이동을 통해 상기 팁 상부에 상기 타겟을 선택적으로 위치시킬 수 있다.
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