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| 특허 상태 | 등록 |
| 출원인 | 기초과학연구원 |
| 발명자 | ミン キ リ, ミン キ リ, ヨン クォ キム, ヨン クォ キム, ヨン オー チョ, ヨン オー チョ, チョン ワン チョイ, チョン ワン チョイ, オー カン キム, オー カン キム, ヒ タ キム, ヒ タ キム |
| 출원번호 | 2016094058 |
| 출원일 | 2016.05.09 |
| 등록번호 | 6302002B |
| 등록일 | 2018.03.28 |
| 중요 키워드 | precision alignmentviewport |
| 출원번호 | 출원일 |
| 201615160871 | 2016.05.20 |
| 종류코드 | |
| B2 | |
| 외부 링크 | |
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| 출원번호 | 출원일 |
| 1020150178387 | 2015.12.14 |
| 종류코드 | |
| A | |
| 외부 링크 | |