[특허 요약] 본 발명은 대면적이면서도 극히 낮은 표면 거칠기를 가지는 단결정 그래핀의 제조방법 및 상기 제조방법으로 제조된 그래핀에 관한 것이다. 본 발명에 따른 그래핀의 제조방법은 (S1) 금속 기판을 밀폐 챔버에 투입한 후 상기 밀폐 챔버 내부의 가열 및 가압하는 단계; (S2) 상기 챔버 내에 탄소를 포함하는 기상 화합물을 공급하여 상기 금속 기판 상에 그래핀을 성장시키는 단계; 및 (S3) 상기 챔버를 냉각시키는 단계; 를 포함하고, 상기 (S1) 단계 내지 상기 (S3) 단계에서 상기 밀폐 챔버는 제1가스가 지속적으로 공급된다.

등록번호

20260012676

출원번호

1020250096279

출원인

기초과학연구원, 울산과학기술원

키워드

graphene, paragraph, gas, area, producing